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1. 摘要 i04Sf^ +Q-~~v7, 白光干涉仪是一种非接触测量技术,用于如表面轮廓或微小位移的高精度测量。利用一个迈克尔逊干涉仪系统和一个氙灯光源在VirtualLab Fusion中仿真了一个白光干涉仪。建模中考虑光源中有限相干长度等光谱特性,结果表明只有当两臂的路径长度基本相同时才会出现干涉图样。 q*{"6"4( Cy6[p BqZLqGOKu .E;6Xx_+r 2. 建模任务 qx0o,oZN! N0
?O*a I]SR.Yp% fY%Sw7ql< 3. 干涉条纹的变化 WtRy~5A2 \TMRS( @D"|Jq=6P [&3"kb 4. 走进VirtualLab Fusion w5|@vB/pj PYz| d
1}ZBj%z4l '[-H].-! 5. VirtualLab Fusion 中的工作流程 D@
=.4z k}T~N.0 ui 2RTAb svo^#V~h' 6. VirtualLab Fusion 技术 1~7y]d?% yAi4v[ A5H[g`& 7. 文件信息 +'#d*r91@ z%g<&Cq @XIwp2A{+ r1?LKoJOn K4RjGSaF QQ:2987619807 HYg_{
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