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摘要 (=c,b9cb a 8Xwz@ M 当光栅的特征尺寸与波长相当时，具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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•分析光栅衍射效率 Fc \]*
−光栅级次分析器[用例] 0 \ (:y^X
•使用参数运行搜索初始解决方案 we^' R}d
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•通过参数优化找到最终设计 Mkk.8AjC| -40X3 VirtualLab Fusion技术 d *gv.mE F5/,S
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