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摘要 }A+ncabm D{s87h 光栅结构广泛用于光谱仪、近眼显示系统等多种应用。VirtualLab Fusion通过应用傅立叶模态方法(FMM)以简易的方式提供对任意光栅结构的严格分析。在光栅工具箱中,可以通过使用堆栈内的各种接口或/和介质来配置光栅结构。 用于设置堆栈几何形状的用户界面是人性化的,并且可用于生成更复杂的光栅结构。 本用例中,介绍了基于界面的光栅结构的配置具体操作流程。 rH!sImz, -yB}(69 A"ATtid MOK}:^bSu 本用例展示了...... HA8A}d~ •如何使用界面配置光栅工具箱中的光栅结构,例如: r:$tvT* - 矩形光栅界面 qF4tjza;k - 过渡点列表界面 (_|*&au J - 锯齿光栅界面 ]7 Du/)$ - 正弦光栅界面 C{}PO u •如何在计算之前更改高级选项并检查定义的结构。 |YsR;=6wT s2"`j-iQ 光栅工具箱初始化 [:.wCG5 •初始化 'x{oAtCP9 - 开始 >#$SaG! 光栅 m=sEB8P 通用光栅光路图 ~9 .=t ' •注意:使用特殊类型的光栅,例如: 矩形形状, W]#w4Fp! 可直接选择特定的光路图。 {QM rgyQE w")
G:K !DzeJWM| %Y%r2 光栅结构设置 WI4<2u; •首先,必须定义基板(基块“Base Block”)的厚度和材料。 iq*im$9J L4Zt4Yuw •在VirtualLab中,光栅结构在所谓的堆栈(stack)中定义。 ,eBC]4)B6 •堆栈可以附到基板的一侧或两侧。 V\Gs&> QZ l#^-on g}v](Q Ny2
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<TW •例如,选择第一个界面上的堆栈。 udqrHR5 KR#,6 堆栈编辑器 z^U+oG •在堆栈编辑器(Stack Editor)中,可以从目录中添加或插入界面。 n!4\w>h •VirtualLab的目录提供了几种类型的界面。 所有界面都可以用来定义光栅。 {6H[[7i A|8"}Hm 6&os`! a$|U4Eqo 矩形光栅界面 p/-du^:2 EjLq&QR. •一种可能的界面是矩形光栅界面。 n#g_)\ •此类界面适用于简单二元结构的配置。 Q"dq_8\`U •在此示例中,由银制成的光栅位于玻璃基板上。 V?j,$LixY •为此,增加了一个平面界面,以便将光栅结构与基块分开。 yuZLsH •在堆栈编辑器的视图中,根据折射率(黑暗表示更高),其他颜色表示不同的材料。 UqI #F (M$0'BV0 !CUl1L1DSi _#sy 矩形光栅界面 \1!Q.V •请注意:界面的顺序始终从基板表面开始计算。 ]UkH}Pt'3 •所选界面在视图中以红色突出显示。 D+3?p MvpJ0Y ( •此外,此处无法定义光栅前方的介质(指最后一个接界面后面的介质)。 它自动取自光栅元件前面的材料。 @v%Kw e1Q •可以在光路编辑器(Light Path Editor)中更改此材质。 xRD+!3 rNq*z, •堆栈周期(Stack Period)允许控制整个配置的周期。 SvM\9 •此周期也适用于FMM算法的周期性边界条件。 FE\E%_K'n7 •如果是简单的光栅结构,建议选择“取决于界面周期”(Dependent from Period of Interface)选项,并选择适当的周期性界面索引。
^wolY0p h p|v?3( #@B"E2F G1 "QX ByY2KJ7 H ni^S 矩形光栅界面参数 :EV.nD7 •矩形光栅界面由以下参数定义 9,'m,2%W - 狭缝宽度(绝对或相对) pq{`WgA^ - 光栅周期 t,7%|
{ - 调制深度 5`.CzQVb •可以选择设置横向移位和旋转。 ~o!-[ Q-w# !<L. 5)RZJrN] `MVqd16Y 高级选项和信息 ~A=zjkm •在传播菜单中,有几个高级选项可用。 pJ]
Ix *M •传播方法选项卡允许编辑FMM算法的精度设置。 '(5GRI< •可以设置总级次数或衰逝波级次数 m=01V5_ (evanescent orders)。 /Sj~lHh •如果考虑金属光栅,这项功能非常实用。 "Au4&Fu •相反,在介质光栅的情况下,默认设置就足够了。 BTkx}KK 3^UdB9j; '0D$C},^|8 1(o\GI3: •高级设置(Advanced Settings)选项卡可提供有关结构分解的信息。 ,s~l; Gkj •层分解(Layer Decomposition)和过渡点分解(Transition Point Decomposition)设置可用于调整结构的离散化。 默认设置适用于几乎所有光栅结构。 Mh7m2\fLbd •此外,有关数量的信息提供了层数和过渡点的信息。 m8fj\,X •分解预览(Decomposition Preview)按钮提供用于FMM计算的结构数据的描述。 折射率由色标表示。 N_c44[z1 2$Mnwxfk <c}@lj-j ({!!b"B2 过渡点列表界面 XR+
SjCA •另一种可用于光栅配置的界面是过渡点列表界面。 $.jGO! •此界面允许根据周期内不同位置的高度值配置结构。 =K`.$R •同样,平面界面用于将光栅材料或介质与其中一个基板分离。 iqDyE*a i5}Z k r >38>R0k35 过渡点列表参数 U>PZ3 •过渡点列表界面由包含x位置和高度数据的列表定义。 V9oBSP'kt •上限(Upper Limit)必须设置为大于所需光栅周期一半的值,但在周期性结构的情况下自动设置。 |C4fg6XDL IIR+qJ__| ~qghw@Q~ 8TP$ ?8l •必须在周期化(Periodization)选项卡中设置此界面的周期。 Yj& |