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摘要 3F{R$M} PS` F 光栅的衍射效率分析是光栅的典型建模任务。效率可由瑞利系数计算得到,对于光栅的每个衍射阶次都给出了这两个量。VirtualLab Fusion可通过全矢量的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)来计算效率和瑞利系数。借助光栅阶次分析器,可以以各种方式显示不同阶次的效率和瑞利系数。 \NQ[w7 dp*E#XCr1 GT-ONwVDq v=x)]<E"_ 光栅详细说明 muIJeQ.C ZtX\E+mC 71,GrUV: OA&r8WK3 •为了演示一维光栅的光栅分析器,我们使用带HR涂层的正弦光栅。 '$q3 Ze •可以在堆栈中指定光栅参数,并且在光栅组件的编辑对话框中访问该参数。 sm qUFo #[sJKW 光栅阶次分析器设置 $~'G<YYF4 dG}*M25 •定义光栅结构后,可以配置光栅阶次分析器。 fY 10a_@x •可以指定各种输出选项。 cs)R8vuB)z •可以在光学设置视图中双击它的元件打开分析器的编辑对话框。 nSq$,tk( 4\14HcTcK Y|-:z@n6C v'SqH,=d 常规设置 Q@cYHFi~+ OwLJS5r@<- <(BIWm* 8j8~?=$a6Q •在“常规”选项卡中,可以选择是否分析透射率和/或反射率。 j& |