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    [分享]锥形相位掩模的Talbot像 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-02-07
    摘要 HJoPk'p%  
     kG\+f>XQ  
    在传统的Talbot光刻中，在光敏层中仅使用一个图像，但是可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。在此示例中，遵循I.-H. Lee等人的工作，通过傅立叶模态法（FMM，也称为RCWA）在VirtualLab Fusion中对具有一层圆锥体的相位掩模进行了建模。探测得到不同的Talbot像，柱状图位于主像面上，孔状图位于次像面上。 piY=(y&3  
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    建模任务 1R1J/Z*V/  
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    结构和材料参数来自I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) W=]QTx,J  
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    某一位置的Talbot图样 3 uhwoE  
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    不同位置的Talbot图样 uiM*!ge  
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    沿Z轴的强度 Y7]N.G3,]  
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    ki=-0G*]  
    走进VirtualLab Fusion l[L\|hv'n  
    Y(W>([59  
     uFL~^vz  
    * t{A=Wk  
    VirtualLab Fusion的工作流程 >mi%L3Pk  
    xG\&QE  
     构建光栅结构 asmMl9)(`  
    - 用特殊介质构造光栅结构 [用例] d,6 Z  
    - 超颖光栅构建 – 示例讨论 [用例] & /UcFB  
     3m  
     通过参数运行计算不同位置的强度 ?4(uwX p  
    - 参数运行文件的使用 [用例] N1zB; -0t  
    (]vHW+'  
    Z?O aY4  
    3RZP 12x  
    VirtualLab Fusion技术 p!|ok #sW  
    03iO4yOu  
     K({+3vK  
       Iy6 "2$%a  
    文件信息 L&][730  
    ;WO/xA-#  
     -=s7Q{O8Z  
    w<.{(1:v  
    延伸阅读 Ng0V&oDI  
    - 超稀疏介质纳米线栅偏振片     w91{''sK  
    - 光栅级次分析器 "ALR)s,1,  
    - Talbot效应的建模 Xu3o,k  
    vZq7U]RW  
     CJ%bBL'.  
    有什么问题可以添加微信~ =YE"6iU  
    cRDjpc]  
     ,3!l'|0jJ  
     
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