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均匀化的概念 sm <kb@g o=5uM VirtualLab光学仿真和设计软件能够设计用于LED和准分子激光均匀化和整形的照明系统。可以通过微型光学元件来实现光束的均匀化和整形，例如： Z%d4V< fn • 微透镜阵列 (3S/"ZE • 衍射扩散器 YtKX\q^. • 计算机生成的全息图 3W00 , f^9 • 相位板 JVYYwA^ . • 单元阵列 ))zaL2UP.
MO+0]uh: 红色LED照射衍射扩散器产生的天际线图案 [aU T #
光学仿真和设计包括: S5p\J!k\B • 衍射 atnbM:t • 干涉 `qEm5+` • 空间和时间相干度 2Nzc ej • 像差 LxGh *7K- • 偏振 Ue Tp, • 光强 '\qr=0aW
;Q 6e&Ips/ 应用 vK/Z9wR*05
{x$#5 PW 用于LED和准分子激光均匀化的微光学照明系统可以用在各个领域，包括： f4^_FK& • 信息显示 1a4 $.
{ • 测量系统 b .@dUuKz- • 室内照明 l0o_C#"<S • 汽车 FV, SA3 • 军事 a_j#l(] 9 • 光刻 M#,+ p8
<o`]wOrl 用于白光LED消色差整形的微透镜阵列的3D表面 !I$RE?7eY 优点Benefits At:C4>HE@
1z!Lk* C) 微光学元件的照明系统有以下几大优点： J?DyTs3 Z • 可实现LED 和准分子激光的均匀化和整形. S}yb~uc, • 产生任意的二维图案. W{2 y*yqY • 对光源辐射特性变化的低灵敏度. ,\"gN5[$( • 非常紧凑的照明系统. s_Gp +-  I<f M8t.Y> 包含一个光栅元胞阵列的照明系统 光线追迹模拟
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微透镜阵列，也叫做“蝇眼聚光器”可以被用在LED和准分子激光器均质化的各种光学装置中，微透镜阵列有以下光学特性： (.) s =
• 光分布整形取决于透镜口径和透镜表面. J >&GP#7}
• 常被用来产生圆形、矩形和六角形光分布. H%V[%
T4=
• 可以产生一般的二维图案. 6jA Q
• 单色光和白光的整形. 六角形透镜阵列可以用来产生六角形光分布. S d -+a
衍射扩散器 CdjGYS
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衍射扩散器，如相位板和计算机生成全息图，是经过计算机优化的表面轮廓散射元件，衍射扩散器有以下光学性质： / GNYv*
• Diffuser在一目标平面上产生大量的重叠斑点（衍射级次）. ~KvCb3~X
• 生成任意的二维图案. F*u;'K
• 仅用于单色LED或准分子激光.  S6I8zk)Z4 4个高度水平的衍射扩散器的表面轮廓
单元阵列 l "Q8 `
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光栅，棱镜和反射镜单元阵列由小矩形单元组成，将光偏转到目标平面上的特定位置。单元阵列具有以下光学特性： -tJ*F! w6U
• 通过控制光栅，微棱镜或微反射镜的倾角和周期来将光偏转到目标面上. GW#Wy=(_
• 光学分辨率取决于单元孔径的衍射. X+ jSB,
• 产生任意的二维图案. '-_PO|}
• 用于单色光和白光. 由LightTrans.设计的光栅单元阵列的SEM成像 [)?3Dp|MH
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