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案例87.01：粗糙表面光栅的模拟 Hu(flc+z" cm 9oG 即将模拟一个具有随机粗糙表面的正弦光栅。此模拟是通过使用VirtualLab中的一般二维光栅（General Grating 2D）元件堆栈中的可编程光学界面来完成的。 3 [)s;e
!eAdm 关键词：光栅，光栅工具箱，粗糙表面，可编程光学界面，光栅元件 Zjic"E1
% X , B-h^ 要求工具箱：光栅工具箱 p@7i=hyt`p
fqk Dk 相关应用案例：案例090.01，案例246.01 h$7Fe +#I# ^A "lkV7 一、模拟任务： ]pR fY9w 二、光栅的描述 >6l ;/ J
JQ/t, v$G 1. 原始表面轮廓是一个平滑的正弦曲线轮廓，其周期为5μm，调制深度为468nm（使得最内侧三个级次的效率相同）。 j*La ,iF
S|q!? /jqj 2. 该正弦曲线轮廓叠加入一个随机的变化，由VirtualLabTM中的可编程光学界面来模拟。 &e]]F#
2~&hs td% 3. 用于模拟粗糙度的该代码片段有两个物理参数：最小特征尺寸（Smallest Feature Size）和总高度调制（Total Height Modulation）。使用种子（Seed）变量可以确定任意数目的生成器以获得一个可再生的结果。 9oz (=R
qM1)3.)[: 4. 变量“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）” Jm (&G
!`
M;# 下面将展示所得高度轮廓以及所得效率的图，其“总的高度调制（Total Height Modulation）”为50 nm，“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为不同的值。 "?e H=!
[71#@^ye 1) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为0 ',H$zA?i gF,[ u wsJ%*
eYf i2FD1*=/? 2) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为100nm N$,/Q9h^ &8Jg9# b$goF
}b'g 3) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为500nm ,jbGM&.C 5qd_> UHp {7= WU4$ 4) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1000nm 5i4V 5N>3 hEv=T'*,K) ~3'RW0 5) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1500nm (zs4#ja2, ljYpMv.>xG q[) q|R| 5. 参数运行 >d{dZD}
ws>WA{]gq 1) 文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Smallest_Feature_Size.run包含了一个在“总的高度调制（Total Height Modulation）”为50nm时，随“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”变化的结果。 b.R!2]T]i^
g= FDm* 2) 相反，文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Total_Height_Modulation.run在“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1.5um时，将“总的高度调制（Total Height Modulation）”设置为变量。下面将给出这些变量的模拟结果。 2JiAd*WK <'} b*wUB 6. 具有不同的“总的高度调制（Total Height Modulation）”的结果 b46[fa ~_ u*\]- -t@y\vZF, c Pq Dsl3 7. 总结 <G~} N
+}7Ea:K 1) VirtualLabTM可以对粗糙高度轮廓表面的光栅进行严格模拟。 4{;8:ax&w
(odR'# 2) 可编程光学界面可以用来模拟用户自定义高度轮廓的光栅。 PT bA1.B
SZ5O89 3) 大的调制（在x-和y-方向）会造成原始衍射结果强烈的偏差。 Ml8 YyF/~ yn/?=
?0
GOy=p3mQ QQ：2987619807 j3x^<a\gJ
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