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    [分享]利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2020-12-09
    示例.0082(1.0) o:4CI  
    dhs#D:/{9  
    关键词光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 Y6+k9$h  
    _En]@xK3&  
    1. 描述 +*<K"H|,  
    该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 ?f9$OLEB  
    我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 o;%n,S8J|^  
    此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 We|-5  
    }\U0[x#q  
    2. 系统 #c :9 V2  
    wqf&i^_  
    文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
    Bg5;Q)  
    3. 透镜系统组件编辑 y. T ct.  
    V!\n3i?i  
    在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 ]yw_n^@  
    透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 [O [FCn  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 rpx 0|{m  
    包括序列光学表面和光学介质。 UQSX<6"  
    s!NisF  
    "i}Z(_7yr  
    4. 光线追迹系统分析器-选项 7G?Ia%u  
    O3!Ouh&  
    py}.00it  
    分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 E*h0#m|)  
    可以选择选取光线的方法: Y7*'QKz2  
    — 在x-y-网格 \l>q Y(gu  
    — 六边形 4{g:^?1=  
    — 自由选取 C5BzWgK  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。
    t7sUtmq  
    {V{0^T-  
    5. 系统的3维视图 R%qX_m\0  
    >aX:gN  
    2&suo!ig  
    6. 其他系统参数 (/To?`  
    系统由单色平面波照明 u!m,ilAnd  
    照明波长266.08nm nl.~^CP  
    后端的探测器用来分析透镜系统的性能: zsHG= Ee*  
    — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 lR|$*:+  
    — 一个虚拟屏位于焦平面 $:xF)E  
    光束尺寸探测器置于焦平面 InAU\! ew  
    焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 V+P8P7y37B  
    ,<`|-oa  
    5?<|3  
    rE!G,^_{  
    ViCg|1c  
    7. 光线追迹系统分析器的结果 mjWp8i  
    l2z`<2mp  
    光线经过整个光学系统的三维视图
    eUzU]6h  
    光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
    6z1aG9G  
    %ZJ),9+  
    ~ra#UG\Y8  
    m$j n5:  
    $71i+h]_  
    #L|JkBia  
    8. 透镜系统后虚拟屏的结果 >OF:"_fh  
    > u'/$ k  
    Ah(\%35&  
    VirtualLab可用于计算点列图。 WO.}DUfG+  
    左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 4SX3c:>  
    默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 O('i*o4!}  
    你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 R^mu%dw)(%  
    xCDA1y;j  
    9. 焦平面上的结果 >cvE_g"?C  
    kKFuTem_3  
    O>)n*OsS  
    在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 l}U~I 3}).  
    在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 V{7lltu  
    焦平面上的光斑尺寸为183mm *l-Dh:  
    此外,背景颜色也可以预先设置。 ,3fuX~g  
    该测量采用均方根(RMS)计算法。
    9Bbm7Gd  
    zLJ:U`uh\  
    10. 总结 [R@q]S/  
    VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 Ww a41z  
    利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 F&nMI:h7  
    此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 *il]$i  
    可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 . }-@;:yh  
    *SMoodFBS  
    sWojQ-8}  
    QQ:2987619807 2@=cqD7x  
     
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