示例.0082(1.0) o:4CI dhs#D:/{9 关键词:光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 Y6+k9$h
_En]@xK3& 1. 描述
+*<K"H|, ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 ?f9$OLEB ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 o;%n,S8J|^ ■ 此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 We|-5
}\U0[x#q 2. 系统 #c:9V2 wqf& i^_ 文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
Bg5;Q) 3. 透镜系统组件编辑 y.
Tct.
V!\n3i?i
■ 在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 ]yw_n^@
■ 透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 [O [FCn
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 rpx0|{m
■ 包括序列光学表面和光学介质。 UQSX<6"
s!NisF
"i}Z(_7yr 4. 光线追迹系统分析器-选项 7G?Ia%u O3!Ouh& py}.00it
■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 E*h0#m|)
■ 可以选择选取光线的方法: Y7*'QKz2
— 在x-y-网格 \l>qY(gu
— 六边形 4{g:^?1=
— 自由选取 C5BzWgK
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 t7sUtmq
{V{0^T- 5. 系统的3维视图 R%qX_m\0 >aX:gN 2&suo!ig 6. 其他系统参数 (/To?` ■ 系统由单色平面波照明 u!m,ilAnd ■ 照明波长266.08nm nl.~^CP ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能: zsHG=Ee* — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 lR|$*:+ — 一个虚拟屏位于焦平面 $:xF)E — 光束尺寸探测器置于焦平面 InAU\! ew ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 V+P8P7y37B ,<`|-oa 5?<|3 rE!G,^_{ Vi Cg|1c 7. 光线追迹系统分析器的结果 mjWp8i
l2z`<2mp 光线经过整个光学系统的三维视图
eUzU]6h 光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
6z1aG9G %ZJ),9+ ~ra#UG\Y8 m$j
n5: $71i+h]_ #L|JkBia 8. 透镜系统后虚拟屏的结果 >OF:"_fh >u'/$k Ah(\%35&
■ VirtualLab可用于计算点列图。 WO.}DUfG+
■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 4SX3c:>
■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 O('i*o4!}
■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 R^mu%dw)(%
xCDA1y;j 9. 焦平面上的结果 >cvE_g"?C
kKFuTem_3
O>)n*OsS
■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 l}U~I
3}).
■ 在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 V{7lltu
■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm *l-Dh:
■ 此外,背景颜色也可以预先设置。 ,3fuX~g
■ 该测量采用均方根(RMS)计算法。 9Bbm7Gd zLJ:U`uh\ 10. 总结 [R@q]S/ ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 Wwa41z ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 F&nMI:h7 ■ 此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 *il]$i ■ 可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 . }-@;:yh *SMoodFBS
sWojQ-8} QQ:2987619807 2@=cqD7x