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    • 光学手册（上、下册，李景镇） 光学元件微纳制造与精密检测技术 京东6.18购物红包，每天领三次！ 现代光学与光子学技术
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    离线infotek
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2020-10-28
    光整形>衍射光学 `Of D^Q=  
    'hE'h?-7  
    任务说明 /GVjesN  
    0-~s0R89A  
    +OqEe[Wk#  
    "fr{:'HX  
    灵活地导出制造数据： V@ g v  
    - 平滑的界面 42~.N =2  
    - 量化界面 5 w(nttYH  
    - 镜子/棱镜/光栅单元阵列 CY*o"@-o5)  
     iciKjXJ :  
    亮点 w3ATsIw  
     导出各种表面形状的制造数据 *|<T@BXn  
     导出像光刻制造技术的二元掩膜的量化界面 /vq$/  
         | p!($  
    D Qz+t  
    一般界面的制造数据 Vpne-PW  
     IMr#5  
    /o%VjP"<  
    HMC-^4\%[  
    支持文件格式： jQxhR  
    - 纯文本 |_ +#&x  
    - ASCII码 T60pw  
    - 点云 Q-<Qm?  
    - CAD格式（例如，STL，IGES） <}:` Y"  
     "w$,`M?2  
    STL导出平滑界面（例如Asphere） ]Zt]wnL+  
    zz[fkH3  
    采样高度剖面的STL导出 >s 6ye  
    4e/!BGkAS  
    ) [?xT  
    0 zK{)HZ  
    量化界面的GDSII导出 /!2`pv  
     量化的界面数据可以直接导出到GDSII的文件格式。 -$?t+ "/E  
     这个文件格式主要是用于，如光刻曝光技术。 h}! 9?:E  
    F|{uA/P{  
    zBlv?JwG  
    文档和技术信息 gs;^SRE I  
    _XT'h;m  
    #GLW3}  
    PC用于模拟的规格 ^ZO! (  
    Gc"hU:m  
    X3a9-  
    QQ：2987619807
     
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