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摘要 pC'GKk 8 )pAN_e" 扫描干涉法是实现表面高度测量的技术。通过利用白色光源的低相干性,只有当光程差在相干长度内,干涉图案才会出现。因此,它使精确微观测量成为可能。使用一个氙灯搭建了一个迈克耳孙干涉仪,用于测量具有平滑变化前表面的样品。 ;Y>cegG\ (C
EXPf ^?)o,djY& '9MtIcNb 建模任务 <H)I06]; UR&Uwa&. l[q%1-N yprf
`D> 结果 &[hq !v ,HFoy-Yq 9\]%N;;Lo OyG$ ]C 文件信息 @P^8?!i+ nsJN)Pt ;hOrLy&O >}*iQq {{?[b^ QQ:2987619807 {1y-*@yU(
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