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摘要 $ ~/x;z: 8CRwHDB 对于许多应用来说(例如背光、光学连接器和近眼显示),如何将光高效地耦合到波导结构中是一个重要的问题。对于这些应用,倾斜光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中,介绍了使用严格的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行优化。对于给定的方向级次,优化的光栅展示出超过90%的衍射效率。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。 `12Y2W 9
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*m B &)wJG A~8-{F 31 设计任务 u7
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zC!Pb{IaH A )xfO- 结果-容差分析 ^ ]SU (kY ptTp63+ Bmi9U kj!mgu#T 结果-容差分析 FMAt6HfU %>,Kd6bdg Q}]RB$ZS TuzH'F VirtualLab Fusion一瞥 tnC,1HV0[ Q5tx\GE f_ UwIP r~T3Ieb VirtualLab Fusion中的工作流程 N"2P]Zr -\}Ix> 构建光栅结构 1)ZdkTF@H −使用特殊材料的光栅结构设定[用例] u$mp%d8 −倾斜光栅高级设定[用例] G1/ •光栅衍射效率分析 R5MY\^H/A −光栅阶序分析器[用例] `Qo}4nuRs •使用参数优化进行光栅参数优化 &BQ%df<y\ •使用参数运行的容差分析 ~bLhI K_LwYO3 $rz'Ybs G>0hi1 VirtualLab Fusion技术 @3I/57u< is}Y+^j. wM&WR2 g(F? qP_K 文件信息 cY[qX/0~ $7bux1L
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