示例.0082(1.0)
MS%xOB*6 - \:pbR 关键词：
光线追迹，高数值孔径，点列图，光斑尺寸
N J9H= osB[KRT>(" 1. 描述
M\BLuD ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的
透镜系统进行分析。
{n2mh%I ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。
M;ac U~J ■ 此外，VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。
oC#@9>+@+" o}mD1q0yE 2. 系统
r]iec{ ^ 2VyLt=mdh 文件名：UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
SWvy< f4< 3. 透镜系统组件编辑
w8:~LX.n k%?wNk> ■ 在光路视图中双击透镜系统元件，可以显示元件编辑窗口。
_fz-fG 1 ■ 透镜系统是由序列
光学表面（OIS）定义的。
lwIU|T<4 ■ 每一个可选项都有独立的
参数，并可以设定。
!n~p?joJ* ■ 包括序列光学表面和光学介质。
44B)=p7
V7.xKmB 4. 光线追迹系统分析器-选项
/ Li?;H }A'QXtI/G HA&][%^ ■ 分析器允许用户指定使用
光源的光线选项。
;]34l."85 ■ 可以选择选取光线的方法：
M]oO1GM — 在x-y-网格
f' Dl*d — 六边形
} :P/eY — 自由选取
H.qp~-n ■ 每一个可选项都有独立的参数，并可以设定。
ZP61 T*n NdZv* 5. 系统的3维视图
(0g@Z `r w+(bkqz] 
3#}5dO 6. 其他系统参数
y)X 1!3~( ■ 系统由单色平面波
照明 D|}
y{~ ■ 照明波长266.08nm
O+A/thI%*S ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能：
h1} x2 — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。
hVo]fD| W — 一个虚拟屏位于焦平面
4<CHwIRHY —
光束尺寸探测器置于焦平面
}A;J-7g6 ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。
h lD0^8S E#X(0(A) 7. 光线追迹系统分析器的结果
v@TP_Ka =t\HtAXn[ 光线经过整个光学系统的三维视图
2uu"0 Rm% 光线经过整个光学系统的三维视图（局部放大）
xH #R _ 8. 透镜系统后虚拟屏的结果
z )I.^ U@yn%k9 WQv% 57+
■ VirtualLab可用于计算点列图。
O$ui:<]dS ■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。
,E2Tw-% ■ 默认情况下光线显示的颜色比此
波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。
gF,9Kv ~ ■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
?a+>%uWt #?-2f{ 9. 焦平面上的结果
> xb}AY; *U|K~dl]K ^cB83%<Z ■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。
GZ(
W6 4 ■ 在探测器结果（Detector Result） 标签下，给出了光束尺寸。
YYwFjA@ ■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm
T+7-6y+ d ■ 此外，背景颜色也可以预先设置。
" )T;3/c ■ 该测量采用均方根（RMS）计算法。
'M+iw:R__ musZCg$ 10. 总结
*o <S{ ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。
yU]NgG=z:- ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析，并对位置等信息进行概览。
qT}<D`\ ■ 此外，系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。
\7o&'zEw ■ 可用于评价点列图，也可以附加其他探测器（如光斑尺寸探测器）。
S) ZcH E0 ]B=- （来源：讯技光电）
