摘要
n'yl)HA~>` 当用近轴光
照明时,亚
波长光栅仅产生一个
衍射级,因此在这种情况下无法成图像。为了克服这一问题,可以使用非傍轴照明。如在此示例中,采用高NA聚光
透镜来为具有不同周期的光栅提供高度聚焦的照明,并且该衍射场将由另一个高NA物镜采集。VirtualLab可以
模拟这样的
成像过程,包括使用傅立叶模态法对亚波长光栅进行严格模拟。
8'KMxR QWw"K$l X@!X6j ojoxXly` 1. 建模任务
uoHqL IpQ 9\AS@SH{^T Atd1qJ UT4f (Xo 2. 结果
=5ug\S .Vmtx kbhX?; <` M6_-f ;. ds]?;l" ^>^\CP] 3.
文件和技术信息
g2=}G <*0 9`BEi(z Rboof`pVt @^!\d#/M (来源:讯技光电)