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案例87.01:粗糙表面光栅的模拟 {H=DeQ u#ag|b/C: 即将模拟一个具有随机粗糙表面的正弦光栅。此模拟是通过使用VirtualLab中的一般二维光栅(General Grating 2D)元件堆栈中的可编程光学界面来完成的。 ~f;d3dJ]/ DgGGrV` 关键词:光栅,光栅工具箱,粗糙表面,可编程光学界面,光栅元件 c>,|[zP{ cL?FloPc* 要求工具箱:光栅工具箱 &>XIK8* 049E#[<Q" 相关应用案例:案例090.01,案例246.01 pA&CBXio mhv{6v 一、模拟任务: MR} GxI 二、光栅的描述 3){ /u$iH. tg_v\n 1. 原始表面轮廓是一个平滑的正弦曲线轮廓,其周期为5μm,调制深度为468nm(使得最内侧三个级次的效率相同)。 07:CcT FZ)_WaqGf 2. 该正弦曲线轮廓叠加入一个随机的变化,由VirtualLabTM中的可编程光学界面来模拟。 A'^y+42jY 9TuE. 3. 用于模拟粗糙度的该代码片段有两个物理参数:最小特征尺寸(Smallest Feature Size)和总高度调制(Total Height Modulation)。使用种子(Seed)变量可以确定任意数目的生成器以获得一个可再生的结果。 mR\rK&'6 ~G+o;N,V 4. 变量“最小特征尺寸(Smallest Feature Size)” 38ChS.( ?`#)JG,A7 下面将展示所得高度轮廓以及所得效率的图,其“总的高度调制(Total Height Modulation)”为50 nm,“最小特征尺寸(Smallest Feature Size)”为不同的值。 '85@U`e. )u ) ]#z 1) “最小特征尺寸(Smallest Feature Size)”为0 {x$jGiag+8 x%Ivd A2LqBirkl vN'Y);$ 2) “最小特征尺寸(Smallest Feature Size)”为100nm J\VG/)E !*JE%t A2.[P== 3) “最小特征尺寸(Smallest Feature Size)”为500nm c
4xh cyu)YxT O%?noW 4) “最小特征尺寸(Smallest Feature Size)”为1000nm t
1gH9 v,qK=]ty g|L" |Q 5) “最小特征尺寸(Smallest Feature Size)”为1500nm \@6PA ANgfG8> 1xAZ0X# 5. 参数运行 jF4h/((|EU 2\
3}y( 1) 文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Smallest_Feature_Size.run包含了一个在“总的高度调制(Total Height Modulation)”为50nm时,随“最小特征尺寸(Smallest Feature Size)”变化的结果。 3%c{eZxG= mqPV
Eo 2) 相反,文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Total_Height_Modulation.run在“最小特征尺寸(Smallest Feature Size)”为1.5um时,将“总的高度调制(Total Height Modulation)”设置为变量。下面将给出这些变量的模拟结果。 Gc6`]7 s <~ E'% 60; 6. 具有不同的“总的高度调制(Total Height Modulation)”的结果 m<]b]FQ `72 uf<YQ {p#[.E8 Z[+H$ =$% 7. 总结 NKae~ 1b W
'54g$T 1) VirtualLabTM可以对粗糙高度轮廓表面的光栅进行严格模拟。 O}VI8OB(& GWP;;x% 2) 可编程光学界面可以用来模拟用户自定义高度轮廓的光栅。 }*0OLUFFJ G}.t!" 3) 大的调制(在x-和y-方向)会造成原始衍射结果强烈的偏差。 $'M:H_T VeT\I.K[ _Se~bkw?v QQ:2987619807 `a.1Af;L
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