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    [分享]检查微型晶片的光学系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-07-13
    成像系统>包括光栅 EZ `}*Yrd  
    <uC<GDO  
    任务/系统说明 Mn{XVXY@qm  
    A'`P2Am  
    x RB7lV*  
    1EuK, :x  
    亮点 e lay =%)  
    "\<P$&`HA  
    oAaf)?8  
    ^1Yo-T(R  
     在复杂光学系统中,包含光栅(如,非常大的数值孔径(NA)) V>r j$Nc]  
     严格分析光栅衍射效率 97(n\Wt 2  
     考虑入射光的方向分布 @f%wd2  
    smbUu/  
    说明:光源 TGtyJ3x\   
    NU(^6  
    *.xZfi_|  
    "&}mAWT%If  
    说明:光束分束器 sjcQaF`=  
    egbb1+tY  
    g/6nw a  
    'Nw6.5  
    说明:检测透镜系统 ze ?CoDx2  
    P.!;Uf}32  
    Q Y@nE  
    HI z9s4Y_  
    说明:微型晶片 \"t`W:  
    r.9 $y/5  
    Y6+k9$h  
    sb 8dc  
    说明:检测物镜 hg{ &Y(J!U  
    XA?WUR[e  
    V.U|OQouT  
    unpfA#&!"  
    说明:探测器 [1mIdwS  
    5qeT4| Ol  
    VGfD;8]z  
    tG_-;03<`4  
    结果:3D光线追迹(只有0级) 3JTU^-S<  
    3/:LYvM<  
    aam1tm#Q  
    FDl,Ey^r/  
    结果:3D光线追迹(所有级) xTGP  
    'H|;%J6d>  
    EmF]W+!z%  
    n|J.)E.  
    结果:光线追迹 p FXd4*  
    ,b.kw}k  
    RsR] T]4  
    9DmSs=A  
    结果:场追迹 p?_'|#tz  
    38<~R  
    p_A5C?&  
    W6)dUi :"  
    结果:线性偏振光的场追迹 S[ws0Y60  
    Wn2Ny jX  
    7=L:m7T  
    5c*p2:]  
    文档和技术信息 |:dCVd<du  
    &Jrq5Q C  
    _!| =AIX  
    "9TxK6  
    F]hx  
    QQ:2987619807 ?G2qlna  
     
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