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成像系统>包括光栅 EZ `}*Yrd <uC<GDO 任务/系统说明 Mn{XVXY@qm A'`P2Am xRB7lV* 1EuK,:x 亮点 e lay
=%) "\<P$&`HA oAaf)?8 ^1Yo-T(R 在复杂光学系统中,包含光栅(如,非常大的数值孔径(NA)) V>r j$Nc] 严格分析光栅衍射效率 97(n\Wt2 考虑入射光的方向分布 @f%wd2 smbUu/ 说明:光源 TGtyJ3x\ NU(^6 *.xZfi_| "&}mAWT%If 说明:光束分束器 sjcQaF`= egbb1+tY g/6nwa
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HI z9s4Y_ 说明:微型晶片 \"t`W: r.9 $y/5 Y6+k9$h sb 8dc 说明:检测物镜 hg{ &Y(J!U XA?WUR[e V.U|OQouT unpfA#&!" 说明:探测器 [1mIdwS 5qeT4|
Ol VGfD;8]z tG_-;03<`4 结果:3D光线追迹(只有0级) 3JTU^ -S< 3/:LYvM< aam1tm#Q FDl,Ey^r/ 结果:3D光线追迹(所有级) xTGP 'H|;%J6d> EmF]W+!z% n|J.)E. 结果:光线追迹 p
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