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摘要 -Oz! GX =Uo* -EH 对于许多应用来说（例如背光、光学连接器和近眼显示），如何将光高效地耦合到波导结构中是一个重要的问题。对于这些应用，倾斜光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中，介绍了使用严格的傅里叶模态法（FMM，也称为RCWA）对倾斜光栅进行优化。对于给定的方向级次，优化的光栅展示出超过90％的衍射效率。此外，还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。 XW^Pz (
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= `/i/AZ{ VirtualLab Fusion一瞥 )U]q{0 `
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 9.#")%_p 5 5Mt jqfp VirtualLab Fusion中的工作流程 *o(bB!q"c D+q z` 构建光栅结构 Mdp'u$^!
−使用特殊材料的光栅结构设定[用例] !u4eI0?R?
−倾斜光栅高级设定[用例] YZ<5-C
•光栅衍射效率分析 n 1^h;2gz
−光栅阶序分析器[用例] G"Ey%Q2K
•使用参数优化进行光栅参数优化 x sS;<uCD
•使用参数运行的容差分析 <'hoN/g I,]q;lEMt  (b"q(:5oX ;Cty"H,
VirtualLab Fusion技术 t9lf=+%s
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 )?LZg<< W58%Zz4a 文件信息 ?T|0"|\" ' A q>?G+
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