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    • 光学手册（上、下册，李景镇） 光学元件微纳制造与精密检测技术 京东6.18购物红包，每天领三次！ 现代光学与光子学技术
    讯技光电:VirtualLab Fusion独家供应商 微小光学与微透镜阵列 光学设计与光学元件 计算光学带来的成像革命
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    [分享]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-06-23
    摘要 F^)SQ%xx  
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    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 AB1,G|L  
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    建模任务 T6=q[LpsKN  
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    概述 gNoQ[xFx32  
    39zwPoN>  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 ( @y te  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 ywS2` (  
    #0wH.\79  
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    光线追迹仿真 RN"O/b}qQ  
    !<P|:Oo*Dl  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 O5?Gv??@  
    •单击go！ }co*%F{1  
    •获得了3D光线追迹结果。 5/>W(,5}  
    +~~&FO2  
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    光线追迹仿真 @h&crI[c  
    Z1t?+v+Ro*  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 68k  
    •单击go！ [`eqma  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 ;F:~HrxT}  
    m.K@g1G  
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    场追迹仿真 k]<E1 c/  
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    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 }9qbF+b  
    •单击go！ JGB 9Z   
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    W=9Zl(2C  
     xp4w9.X5(  
    场追迹仿真（相机探测器） F{g^4  
    keBf^NY  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 [9:'v@Ph  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 G q" [5r"  
    m\}8N u  
     $\DOy&e  
    .)zX<~,  
    场追迹仿真（电磁场探测器） s L9,+  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 pnvHh0ck_  
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    场追迹仿真（电磁场探测器） &7{/ x~S{  
     KVvzVQ1  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 oj6b33z  
    Q UQ"2oC  
     I-fjqo3  
    gm-I)z!tz  
    文件信息 J< E"ZoY  
    r@2{>j8  
     \uumNpB*n  
    98%M`WY  
     C/JeD-JG  
    QQ：2987619807 q*Hf%I"  
     
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