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摘要 aL_;`@4 /ig^7+# 在半导体产业中,晶片检测系统用于检查晶片上的缺陷并找到它们的位置。为保证微结构的图像解析度,检测系统常使用一个高NA的物镜,工作在紫外波长范围。作为一个例子,模拟了一个完整的晶片检测系统,包括高NA聚焦效应和光与微结构的互作用,并演示了图像的形成。 9$B)hrJo
?K= gg< ucIVVT(u 建模任务 Y?"v2~;3 eY0Ly7 nOA,x 结果 K8yWg\K (.jO:#eE% X=S}WKu 结果 T>AI0R3 7)ES!C `<]P"G 结果 KDNTnA1c "B_5Y&pM` I1eb31< 文件信息 ~FK+bF?% mvW^P`nB s+OvS9et_
QQ:2987619807
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