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摘要 l3y}nh+ 8 }rnu:7 对于如背光、光学连接器和近眼显示等许多应用来说,光如何高效地耦合到波导结构中是一个重要问题。对于这些应用,众所周知倾斜光栅可以高效率地耦合单色光。这个例子展示了使用严格的傅立叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行优化。对于预定义方向的级次,优化得到的光栅的衍射效率超过90%。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。 3NdO3-~) q^uCZnkb=
'*EKi ERIF#EY 建模任务 ^5)=)xVF i~3\dp ztAC3,r] 1(Z+n,Hh 1阶的参数优化 @LY[kt6o `-Tb=o}. ;iQw2XhT 9!0-~,o 结果-容差分析 ,s6lB0 yr* ~?\ muDOY~. K,+z^{Hvh 结果-容差分析 s=1 k9
:.f(}sCS K.Cx 9 Dc 84^>l 在VirtualLab Fusion中查看 :bCswgd[ 6KE64: \; .&Sjazk0XO \Hq=_}]F VirtualLab Fusion的工作流程
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hV •构造光栅结构 Yf1%7+V35 - 使用特殊介质配置光栅结构[用例] 9niffq)h - 倾斜光栅的高级配置[用例] &KV$x3 •分析光栅衍射效率 ]6MXG% - 光栅级次分析器[用例] <2LUq@Pg •使用参数优化优化光栅参数 &O5&pet •使用参数运行进行容差分析 sD6vHX% - 参数运行文档的用法[用例] J6nH|s8 MEtKFC|p ph3dm\U. J|8 u VirtualLab Fusion技术 oCKn NRs%q}lX Qqp= $
\ I|6[P 文件信息 !6J+# ]w!=1( X-SR0x %:Zp7O2UB' {HP.HK QQ:2987619807 wR9gx-bE
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