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摘要 (Ad!hyE( [)u{ - 直接设计非近轴衍射分束器仍然是很困难的。由于有相对较大的分束角,元件的特征尺寸一般等于或小于工作波长。因此,它通常超出近轴建模方法的范围。在此示例中,将迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元件近似(TEA)用于衍射元结构的初始设计,然后将傅里叶模态法(FMM)应用于严格的性能评估。 ! .}{
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d5~'2 设计任务 (DAJ(r~ ,BAF?}04= Bk<P~-I WQ`T'k#ESW 纯相位传输的设计 t,nB`g? UlytxWkUX 使用迭代傅立叶变换算法(IFTA)进行纯相位传输设计。 i*j+<R@ 2_v>8B m,O!Mt m"]ys# 结构设计 l0)uu4| pXa? Q@6 在近轴假设下使用薄元近似(TEA)进行结构设计。 K(S/D(\
FL K4~Ox Y?cw9uYB ?Q2pD!L{ 使用TEA进行性能评估 2=EKAg=S O1,[7F.4g 在近轴假设下使用TEA进行评估,即与设计方法相同 T(F8z5s5 gZv<_0N 6Tnzg`0I ?f&I"\y 使用傅里叶模态法进行性能评估 Y[4B{ <&iBR 使用严格的FMM进行评估以检查非近轴情况下的实际性能。 Gy%e%' @35shLs %\0 Y1!Hw ) /'s&
D 进一步优化–零阶调整 (P-<9y@ P_U-R%f 无需任何假设即可使用FMM直接进行结构优化。 f'dI"o&^/d 6Y^o8R ~l~g0J mZyTo/\0 进一步优化–零阶调整 `Fj(g!` stPCw$@ 无需任何假设即可使用FMM直接进行结构优化。 bSfQH4F 5FxU=M1gF k9n93I|Cm _rd{cvdR VirtualLab Fusion一瞥 iY-dM(_:] L%FL{G
g:U ul4 nKdLhCN'= VirtualLab Fusion中的工作流程 c3##:"wr gZ3!2T> • 使用IFTA设计纯相位传输 WmA578|l! •在多运行模式下执行IFTA VzesqVx •设计源于传输的DOE结构 "dOzQz*E −结构设计[用例] %:*HzYf •使用采样表面定义光栅 q@:&^CS −使用接口配置光栅结构[用例] Bh?;\D'YC •参数运行的配置 @^Oww(I −参数运行文档的使用[用例] s><co] &^.'g{\Y Cp%|Q.? 8{C3ijR VirtualLab Fusion技术 #82B`y<<y/ $Tg$FfD6& !T*izMX} KVuv%? 文件信息 #=rR[:M PO&`rr yWzTHW`)Mr r`2& o 更多阅读 =R05H2hs - Grating Order Analyzer <CFur - Configuration of Grating Structures by Using Interfaces Nu'rn*Y_ - Design of a High NA Beam Splitter with 24000 Dots Random Pattern ]l%j>Vb!L - Design of Diffractive Beam Splitters for Generating a 2D Light Mark DjIs"5Iei (rJvE* _bX)fnUu QQ:2987619807 ' vwBG=9C
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