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摘要 AI2)g1m rI{; I DV 当光栅的特征尺寸与波长相当时，具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 M-VX;/&FR
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 s S+MqBh&I gT. sj d 建模任务 VD*6g%p `7E;VL^Y1  , >a&"V^k 光栅特性与参数的严格分析 h,:m~0gmj iQ67l\{R 不同光栅周期下的衍射效率 k t#fM d$ [>I<#_^~
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 d L 1tl u%KTNa0 •构造光栅结构 P ) "m0Lu<
−通过使用界面来配置光栅结构 nNV'O(x}
[用例] ZF8 yw(z
•分析光栅衍射效率 $9#H04.x
−光栅级次分析器[用例] ~
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•使用参数运行搜索初始解决方案 }'V5/>m[
−参数运行文档的使用[用例] 6vo;! V6
•通过参数优化找到最终设计 `2WFk8) F t#})Awy^R VirtualLab Fusion技术 ] @c+]{ GW@;}m(
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