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摘要 \Q0[?k =P't(< 在传统的Talbot光刻中,在光敏层中仅使用一个图像,但是可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。在此示例中,遵循I.-H. Lee等人的工作,通过傅立叶模态法(FMM,也称为RCWA)在VirtualLab Fusion中对具有一层圆锥体的相位掩模进行了建模。探测得到不同的Talbot像,柱状图位于主像面上,孔状图位于次像面上。 ZX9T YN TaKLzd2 6dabU* Xg|B \\ 建模任务 K1 EynU
I MQ5R O;RY l;R%= P?'F 结构和材料参数来自I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) hYPl&^ dJJP3}M/ 某一位置的Talbot图样 *|%@6I( _aGOb;h .}t~'*D p>RNPrT 某一位置的Talbot图样 8@i7pBl@ ,k )w6) -JMdE_h _}lZ,L(w 不同位置的Talbot图样 }()5"QB Ktb\ b w *scVJ q)X$^oE!6 不同位置的Talbot图样 IUE~_7 "c3Grfoz be]bZ
1f ALrw\qV 沿Z轴的强度 IHam 4$~- TSTl+W |'P]GK @e(o129 走进VirtualLab Fusion [~-9i&Z 7X0Lq}G@ =XA;[PVx:# fkuLj%R VirtualLab Fusion的工作流程 v\KA'PmiP hL/)|N~ 构建光栅结构 zKw`Md - 用特殊介质构造光栅结构 [用例] lD)%s! - 超颖光栅构建 – 示例讨论 [用例] .L9j>iP9 * jN{Xfjmfv 通过参数运行计算不同位置的强度 f[<m<I - 参数运行文件的使用 [用例] e<3K;Q N4^-` X
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gp5_Z-me Sh/T , 8J:}%DaxL 有什么问题可以添加微信~ QqFR\6 D?;"9e% >"|B9Woc
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