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案例87.01：粗糙表面光栅的模拟 R68:=E4 )AEtW[~D 即将模拟一个具有随机粗糙表面的正弦光栅。此模拟是通过使用VirtualLab中的一般二维光栅（General Grating 2D）元件堆栈中的可编程光学界面来完成的。 -vm1xp$
gdSqG2/& 关键词：光栅，光栅工具箱，粗糙表面，可编程光学界面，光栅元件 L!Tvz(_7f6
N,B!D~@ 要求工具箱：光栅工具箱 |3F GM g%
Q m7];, 相关应用案例：案例090.01，案例246.01 tKyGD|g S UM0Ws|qx& 一、模拟任务： [&P @0F n 二、光栅的描述 A
?tna6W:
#c' B2Jn 1. 原始表面轮廓是一个平滑的正弦曲线轮廓，其周期为5μm，调制深度为468nm（使得最内侧三个级次的效率相同）。 A *:| d~
"] 2^O 2. 该正弦曲线轮廓叠加入一个随机的变化，由VirtualLabTM中的可编程光学界面来模拟。 L1+s0g>
tz?3R#rM 3. 用于模拟粗糙度的该代码片段有两个物理参数：最小特征尺寸（Smallest Feature Size）和总高度调制（Total Height Modulation）。使用种子（Seed）变量可以确定任意数目的生成器以获得一个可再生的结果。 n>,GmC o
o R8'^G0< 4. 变量“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）” TH y?Y
]7TOA$Q 下面将展示所得高度轮廓以及所得效率的图，其“总的高度调制（Total Height Modulation）”为50 nm，“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为不同的值。 z.(DDj
`e;r$Vpd_ 1) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为0 t%e<]2 -8 %H{;wVjK du'`&{ _/ 'y>Y */ 2) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为100nm
s5G`?/ Uu*iL< ` z}==6| { 3) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为500nm E_'H=QN c R#YeE`K 9fs-|E[ 5 4) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1000nm 2[ =3-1c !#%>,X#+ %t6-w WM97 5) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1500nm $"(
15U B#IUSH C h|P C?@jp 5. 参数运行 Hn(Eut7%
fD(r/~Vu 1) 文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Smallest_Feature_Size.run包含了一个在“总的高度调制（Total Height Modulation）”为50nm时，随“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”变化的结果。 6`6 / 2C$%
ZDL1H3;R 2) 相反，文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Total_Height_Modulation.run在“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1.5um时，将“总的高度调制（Total Height Modulation）”设置为变量。下面将给出这些变量的模拟结果。 qAd=i0{N 04}8x[t 6. 具有不同的“总的高度调制（Total Height Modulation）”的结果 ?+yM3As9_V >l%8d'=Jl 2?6]Xbs{ lw~
V 7. 总结 w
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1) VirtualLabTM可以对粗糙高度轮廓表面的光栅进行严格模拟。 YL!{oHs4
g5pFr=NV 2) 可编程光学界面可以用来模拟用户自定义高度轮廓的光栅。 ;ow)N <Z
Sx
J0Y8#z 3) 大的调制（在x-和y-方向）会造成原始衍射结果强烈的偏差。 |By[ev"Kh% ZI1]B944ni
7T6Zlp QQ：2987619807 cNwH Y
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