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光整形>衍射光学 }:D~yEP O2/w:zOg' 任务说明 _NqT8C4C ]GRq }nY^T&?` |mE+f]7$ 灵活地导出制造数据: L(n~@gq - 平滑的界面 R6$F<;nw - 量化界面 E!~2\qKT - 镜子/棱镜/光栅单元阵列 <W%Z_d&Xv -GWzMBS S 亮点 8*PAgPj a 导出各种表面形状的制造数据 MMr7,?,$ 导出像光刻制造技术的二元掩膜的量化界面 tc2GI6]e' =bg&CZVT v*fc5"3eO 一般界面的制造数据 z*~PYAt 0#{]!>R 7>@/*S{X p'!,F; xX 支持文件格式: ;AB ,:* - 纯文本 2:/MN2 - ASCII码 bnY8.Lpf| - 点云 2&K|~~ - CAD格式(例如,STL,IGES) <H@!Xw; {ro!OuA STL导出平滑界面(例如Asphere) Ci9wF(<k 5{/Pn%5 采样高度剖面的STL导出 +siNU#! c%/&@vs7 78J.~v/
mFoK76 量化界面的GDSII导出 B:#0B[ 量化的界面数据可以直接导出到GDSII的文件格式。 L=wFo^N 这个文件格式主要是用于,如光刻曝光技术。 safS>wM] `/ReJj&~ {ZEXlNPww 文档和技术信息 Y9y*":&% fvMhq:Bu 9l_?n@ PC用于模拟的规格 r_sl~^* : UMW^0>Z!v !,!tNs1 K
QQ:2987619807
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