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摘要 8_$[SV$q kA/4W^]Ws 扫描干涉法是实现表面高度测量的技术。通过利用白色光源的低相干性,只有当光程差在相干长度内,干涉图案才会出现。因此,它使精确微观测量成为可能。使用一个氙灯搭建了一个迈克耳孙干涉仪,用于测量具有平滑变化前表面的样品。 u-</G-y vo(riHH =)b!M^=X-a !U::kr=t 建模任务 (E(J}r~E R?62gH <8)cr0~zy> da'1H 结果 nMM:Tr pSa
pF)1> 2P,%}Ms d)>b/0CZ 文件信息 &ci;0P#Q 3ch<a0 VEsIhjQ ?i{/iH~Sf 4yK{(!&i+ QQ:2987619807 )B*D\9\Z
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