[分享]VirtualLab：分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

摘要 ap\2={u^|  
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高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 &P!^k0NJR  
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图片:1-191125164532947.png

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建模任务 h|%d=`P,  
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图片:1-1911251A00R22.png

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概述 "S[VtuxPCU  
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•案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 _J   
•接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 SNff  
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图片:1-1911251A211D3.png

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光线追迹仿真 ,X\z#B  
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•首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 ,)GCg@7B  
•单击go！ QE)g==d  
•获得了3D光线追迹结果。  IO>Cyo  
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图片:1-1911251A23G14.png

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光线追迹仿真 MQ\:/]a  
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•然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 }(M<sEK~  
•单击go！ J4lE7aFDA~  
•结果得到点图（二维光线追迹结果）。 &% M^:WT  
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图片:1-1911251A311b4.png

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场追迹仿真 Z"!C  
R>gj"nB  
•切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 "_#%W oo  
•单击go！ u3k+Xg:  
sL&u%7>Re  

图片:1-1911251A335531.png

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场追迹仿真（相机探测器） &LL81u6=S  
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•上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 e2B~j3-?z  
•下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 }#E4t3  
0|GxOzNd  

图片:1-1911251A41O04.png

hgVwoZ{`]  
4&|9304<H  
场追迹仿真（电磁场探测器） qHHWe<}OT  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 1km=9[;w'  
4G`YZZQ  

图片:1-1911251A519A0.png

s#qq% @  
KqtI^qC8  
场追迹仿真（电磁场探测器） }W|CIgF*  
<#R7sco'  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 UoKBcarm  
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图片:1-1911251A5594c.png

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文件信息
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