5k?unit是什麼?5000nm? }SSg>.48w
QwhO/
你設定厚度與實際厚度的誤差是多少? rB+ (
y05!-G:Y\
你用石英監控當然不一定會那麼準阿?那也不會說誤差到找不到 i<Ms2^
r!!uA1!7
另外你石英監控的頻率是多少?新的大概6MHZ IMD^(k 2
6h/!,j0:t_
再來 D/=05E%[81
P[ o"%NZ'
你的材料是什麼?介電質材料?金屬? !6|_`l>G,
2*D2jw
有吸收的材料你用MACLEOD是算不準的 m%J?5rR3
X]}ai5
說到這邊其實還是要確定你的手法 bnfeZR1m_
85#
3|5n
例如:你基板是套入你量的穿透嗎? ph6/+[:
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你可能連基板都不對咧!! $CB&>?~
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去確認一下吧! 有問題再提出