可以用幾種工具 vw>(JCR
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1.Macleod .<vXj QE
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2.橢圓偏振儀 5`3x(=b
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3.optilayer
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先簡單說一下macleod怎麼使用 TfJ*G6\7e#
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準備工具 ?#a&eW
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1.macleod程式 K. B\F)K
j|8!gW
2.空白基板之穿透 _N:$|O#
v6G1y[Wl
3.待測物之穿透 |11vm#
Pm#/j;
4.選取1/4波長(1/2波長)位置 ]O}e{Q>
i+5Qs-dHA
5.計算 [f\Jcjc
9:g A0Z
6.即可得到NK值及總厚度 YFu>`w^Y
{k=3OIp
不懂再提出 t{B@k[|
y=pW+$k