可以用幾種工具 B@S~v+Gr
e.^?hwl
1.Macleod #^yOW^
=[zP
2.橢圓偏振儀 WX]O1Y
_BONN6=*y
3.optilayer 7w]3D
oW(EV4J"
先簡單說一下macleod怎麼使用 $j8CF3d.6
5<e{)$C
準備工具 YWJ$Pp
[#YzU^^Ib
1.macleod程式 @eutp`xoT\
Jd?qvE>Pp
2.空白基板之穿透 +XSe;xk;rD
}%AfZ2g;h
3.待測物之穿透 uF1&m5^W
F'F6 &a+
4.選取1/4波長(1/2波長)位置 `%^w-'
:I2,
5.計算 Bp@\p)P(
f*ABIm
6.即可得到NK值及總厚度 ,CN(;z)
@!j6y(@
不懂再提出 H:OpS-b
C<(qk _