可以用幾種工具 Rv.IHSQUo
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1.Macleod $0+&xJVn
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2.橢圓偏振儀 D'^UZZlI^I
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3.optilayer "EE(O9q
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先簡單說一下macleod怎麼使用 EZT 8^m
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準備工具 J5z\e@?.0\
Mq#Hi9SKY
1.macleod程式 Y3-f68*(
$6 4{Ff
2.空白基板之穿透 BH}M]<5
~&"'>C#
3.待測物之穿透 Z&7Yl(|
Lg7dJnf
4.選取1/4波長(1/2波長)位置 y
k\/Cf
,jl4W+s
5.計算 >\3N#S"PF
0WyOORuK
6.即可得到NK值及總厚度 ZkNet>9
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不懂再提出 h<n 2pz}
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