可以用幾種工具 Z ZX|MA!
>E^sZmY[f-
1.Macleod s1?N&t8c
mXAX%M U
2.橢圓偏振儀 PI)lJ\
)8!""n~
3.optilayer K\,)9:`t
_RST[B.u6
先簡單說一下macleod怎麼使用 69p>?zn
VK[^v;
準備工具 [K9l>O
`!K(P- yB?
1.macleod程式 l*e*jA_>:7
jL<:N
8
2.空白基板之穿透 )4toBDg"
wJNiw)C
3.待測物之穿透 %}J[EV
:uSo2d
4.選取1/4波長(1/2波長)位置 pW 2NrBq@w
9l]+rs+
5.計算 Rr{mD#+
X6)-1.T&
6.即可得到NK值及總厚度 &'TZU"_
^mv F%"g
不懂再提出 '-N `u$3Y
zn@<>o8hU