synopsys中,可以通过命令来直接控制三阶和五阶像差 ,ab_u@
直接通过一条命令语句,自由设置权重,可以根据需要来控制系统的像差,但是要记住:在控制系统的像差,不是越小越好,而是是使各个像差趋于平衡。 mG4$
rP$vZ^/c
最终表面的三、五阶像差值可定义为待控制的像差。输入是 gwVfiXR4
W *?mc2;/
{ A / S / MUL / DIV } name Mx?]7tI
n.9k<
其中name是如下之一 : |m{Q_zAB
?^y%UIzf
SA3CO3 TI3 SI3 PETZ DI3 PAC PLC SAC SLC }?[^q
I#lvaoeN
SA5CO5 TI5 SI5 ECOMA PZ5 DI5 TOBSA SOBSA T}')QC&wQ
}#0MJ6L
SAPTIP COP SIP ASP PZP DIP
qkQ_#
CUJP"u>8M
另一组像差有助于降低透镜对制造误差的灵敏度。这些是 LF o{,%B
)D_ZZPq_
SATCOT ACD ACT ECD ECT ESA ECO。