synopsys中,可以通过命令来直接控制三阶和五阶像差 Z@PmM4F@S
直接通过一条命令语句,自由设置权重,可以根据需要来控制系统的像差,但是要记住:在控制系统的像差,不是越小越好,而是是使各个像差趋于平衡。 _>X+ZlpU:
bB3powy9
最终表面的三、五阶像差值可定义为待控制的像差。输入是 b2&0Hx
Gu\q%'I
{ A / S / MUL / DIV } name bAtSV u
`&c kZiq
其中name是如下之一 : U#WF;q0L
P?of<i2E
SA3CO3 TI3 SI3 PETZ DI3 PAC PLC SAC SLC ^ sLdAC
x-&@wMqkc
SA5CO5 TI5 SI5 ECOMA PZ5 DI5 TOBSA SOBSA LuvY<~u
lchPpm9
SAPTIP COP SIP ASP PZP DIP );&:9[b_
P:MT*ra*,
另一组像差有助于降低透镜对制造误差的灵敏度。这些是 ={@6{-tl
JO6)-U$7UG
SATCOT ACD ACT ECD ECT ESA ECO。