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    [分享]Ansys Zemax | 解像力仿真设计 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-11-06
    本节介绍了一个模拟解像力图表的例子。 @ym/27cRE  
    作为一个例子,我们将使用一个等倍率的光学系统,如下图所示: b T 2a40ul  
    )sho*;_o  
    ^ wY[3"{  
    首先,检查该光学系统MTF [:^-m8QC  
    分辨率图是用黑白的二进制图像创建的。 $T :un.TM  
    MTF设置如下图所示:解析图使用的是 "方波"。 #2`D`>7456  
    Q,&/V_  
    ]v#r4Ert  
    wH~kTU2br  
    显示的是短波的MTF。 %*#n d  
    在物体高度为-20毫米时检查20个周期/毫米,表明S图像_50% T图像6%。 w '3#&k+  
    RT>{*E<I  
    接下来,对解像力图进行图像模拟。 V138d?Mm  
    有两种方法可供选择: ~EK'&Y"1  
    WD'#5]#Y  
    (1) 局部相干图像分析 Isx#9C  
    选择分析→扩展光源分析→部分相干图像分析。 ~tOAT;g}q  
    tK k#LWB  
    [o*7FEM|<  
    W cC?8X2  
    作为一个假设,需要注意的是,MTF是在20周期/毫米时评估的。 8EVgoJ.  
    在光学行业,一个单色对被算作 "1本"。换句话说,在20周期/毫米时,单色对的宽度是1毫米/20对=0.05毫米。 I |# 5NE6  
    B75k^ohfj  
    在这个模拟中,使用了'LINEPAIR.IMD'文件。 Jv.U Q  
    该文件包含10行对,有10个0.05毫米的黑白对,所以0.05毫米×10=0.5毫米。 gIA@l `"  
    那么在图像空间中,文件的一侧长度为0.5毫米。 d&#~ h:~  
    V 21njRS  
    真正的MTF是通过设置显示方法为X-section来计算的。 3BpZX`l*p  
    Z'H5,)j0R  
    Agrp(i"\@  
    MTF计算结果显示在红色框内的区域, 该值为50%。 D5~n/.B"  
    waKT{5k  
    (2)图像模拟 QJ|ap4r  
    这样做的好处是可以在实际图表的图像上进行模拟。 4e;QiTj  
    许多分辨率图表有多条垂直和水平排列的线。 S~]mWxgZ  
    您也可以创建自己想仿真的图像。 z"*/mP2  
    例如,对于一个纵向和横向都有三条线的图像文件来说 Z@Ae$ '9H  
    我们将在一个文本文件中创建它,如下所示。 'Wa,OFd\8  
    然后,通过将文件扩展名转换为IMA,该文件可以作为图像文件使用。 \P1=5rP  
    qH['09/F6  
    mqq;H}  
    分析→扩展光源分析→图像模拟。 h5yzwj:C?  
    %7O?JI [  
    Kt0(gQOr0  
    按照以下参数对仿真进行设置, ]jpu,jz:  
    wp7!>% s{  
    .k[o$z\EkF  
    使用自定义的图像文件作为输入文件。 kp\\"+,VC  
    输入0.3作为视场的高度。 _{jjgQJ5  
    输入0.3作为视场的高度。 0|; .6\  
    因此,线的宽度是输入0.3的1/12,也就是0.025毫米。 ![f ![l  
    对于一对线对,0.025 x 2 = 0.05。 _w*}\~`=^  
    仿真的图像如下所示。 (@WA1oNG  
    6=N`wi  
    XR!us/U`a  
    你可以看到两条水平线(切线图像)。 ZIdA\_c  
    这种现象被称为 "伪像"。 hVUP4 A  
    用FFTMTF检查时,切向图像为15线/毫米,MTF为0。 oq*N_mP0  
    然而,此后会有百分之几的对比度复现。 _e9:me5d"$  
    在这种情况下,对比度可能存在,但黑白图像可能被颠倒。 qF iLh9=D  
    xooY' El*#  
    如果在FFTMTF的设置中将类型改为相位,可以发现,在15线/毫米或更多的情况下,相位转为180°。 e$Y[Z{T5  
    sKyPosnP  
    )#F]G$51r  
    lD{Aa!\  
    武汉宇熠科技是 ANSYS 全线产品中国区官方指定代理商,提供 Ansys Zemax、Ansys Lumerical、Ansys Speos 等软件产品的培训、销售、技术支持、二次开发、解决方案及这些软件相关全方位定制服务。 B^%1Rpcn  
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    咨询邮箱:market@ueotek.com l1]p'Liuu  
    rWh6RYd<T  
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