1、奇数型达曼
光栅设计
r)(i{:@r ` 以1*5分束比达曼光栅设计为例，分别以标量
衍射理论和矢量衍射理论来
优化设计，并且利用rsoft和virtuallab软件来验证。
.v$ue` E ^'C " 6 1）标量衍射理论设计
` 3vN R" 运用matlab编写的多种群遗传算法进行优化，得到衍射效率为78%，非均匀度为0.3%，
结构图和衍射图如下所示。
18J.vcP (#C B q 
+}`p"<' u （a）达曼光栅结构（坐标已归一化）
/ *O u$ i:AjWC@] 
%y! （b）达曼光栅衍射效率
' aLPTVM^ e=YO.HT 2）矢量衍射理论RCWA算法设计
AW]("pt 运用matlab编写的多种群遗传算法进行优化，得到衍射效率为78%，非均匀度为0.9%，结构图和衍射图如下所示。
+D6 -m z[_ R"+ 
k?z
[hZg0 （a）达曼光栅结构（坐标已归一化）
]i 9H_K #wq;^)> 
mw2rSU I { （b）达曼光栅衍射效率
*_}IeNc ^O sd/g 3）rsoft仿真
kJVM3F% 标量衍射结果与rsoft仿真结果有一定的差异。（分束比越高差异越大）
1nw$B[ ~Q3WBOjn 
VGkW3Nt 0 （a）标量衍射结果结构图
Q'>_59 :XNK-A W 
Oct\He\. （b）衍射效率
iA5*
_tK5 KzxW?Ji$S rsoft应用RCWA算法进行
仿真，与matlab编写的RCWA算法仿真结果一致，与virtuallab仿真结果一致。
oaH +c9v _.oRVYK / 
gs^UR6
D, （a）矢量衍射结果结构图
^F;Z%5P= \1eKY^)2 
l{B< "+8 （b）衍射效率
=[v2 !nZI? z ; 2、偶数型达曼光栅设计
<yX@@8 偶数型达曼光栅优化设计和奇数型达曼光栅相同，但结构必须满足相位互补状态。下图为1*6和1*8分束比达曼光栅，用标量衍射设计，结果并不是很完美。
WzNG<rG 
od|N-R （a）结构图
'_Hb}'sFI |hZ|+7 
SF78 s:_!_ （b）衍射效率
#8WR{ A3<P li 
zEA{%)W （a）结构图
Q>#)LHX 6c;?`C 
q ? gQ （b）衍射效率
