[原创]达曼光栅设计 [复制链接]

1、奇数型达曼光栅设计
^8';8+$  
以1*5分束比达曼光栅设计为例，分别以标量衍射理论和矢量衍射理论来优化设计，并且利用rsoft和virtuallab软件来验证。 L= :d!UF  
[w&#+h-q  
1）标量衍射理论设计 cD'HQ3+  
运用matlab编写的多种群遗传算法进行优化，得到衍射效率为78%，非均匀度为0.3%，结构图和衍射图如下所示。 I+Ncmg )>  
?u_gXz;A  

图片:2.jpg

         c|\ZRBdI  
  （a）达曼光栅结构（坐标已归一化） J0ZxhxX35  
                           N"Qg\PS_  

图片:23.jpg

S1 EEASr!}  
（b）达曼光栅衍射效率 nOA
J9  
}pl]9  
2）矢量衍射理论RCWA算法设计 H[BD)  
运用matlab编写的多种群遗传算法进行优化，得到衍射效率为78%，非均匀度为0.9%，结构图和衍射图如下所示。 yyY~ *Le  
eKZ@FEZ  

图片:untitled.jpg

                              
`1E|PQbWc  
（a）达曼光栅结构（坐标已归一化） b)o
n A|  
Snc;
p  

图片:untitled2.jpg

(~j,mk  
（b）达曼光栅衍射效率 mQd4#LJ_  
]>R`;"(  
3）rsoft仿真 aN^]bs?R  
标量衍射结果与rsoft仿真结果有一定的差异。（分束比越高差异越大） *#&k+{a^2  
qj~flw1:  

图片:捕获77.JPG

                 F_A%8)N  
（a）标量衍射结果结构图     GBH_r0  
Vs#"SpH{'  

图片:捕88获.JPG

C5O5S:|'  
（b）衍射效率             ,op]-CY5  
?muDTD%c  
rsoft应用RCWA算法进行仿真，与matlab编写的RCWA算法仿真结果一致，与virtuallab仿真结果一致。 mu6039qy  
YCa@R!M*O  

图片:1获.JPG

                       {]wIM^$6+  
（a）矢量衍射结果结构图   H~A"C'P3#  
d]tv'|E13  

图片:捕获.JPG

                               NFk}3w
:  
（b）衍射效率     =N YgGEFq.  
D(y+1^>  
2、偶数型达曼光栅设计 BdN8 ^W  
偶数型达曼光栅优化设计和奇数型达曼光栅相同，但结构必须满足相位互补状态。下图为1*6和1*8分束比达曼光栅，用标量衍射设计，结果并不是很完美。 9T(L"9r-e  

图片:捕获55.JPG

                     '3A+"k-}mh  
（a）结构图 bGbqfO`  

`W@T'T"  

图片:捕获66.JPG

OFc\fW#  
（b）衍射效率                                                                     *IC^IC:  
O^5UB~  

图片:捕获55.JPG

                                   >T<6fpXuk2  
（a）结构图 1EVfowIl  
y|$R`P  

图片:捕获66.JPG

       # ;K,,ku x  
（b）衍射效率