1、奇数型达曼
光栅设计
)ad6> Y 以1*5分束比达曼光栅设计为例，分别以标量
衍射理论和矢量衍射理论来
优化设计，并且利用rsoft和virtuallab软件来验证。
iT,Ya-9" 8=DZ; ]XD. 1）标量衍射理论设计
w<$0n#5 运用matlab编写的多种群遗传算法进行优化，得到衍射效率为78%，非均匀度为0.3%，
结构图和衍射图如下所示。
"jA?s9 lCxPR'C| 
BW5! @D2 （a）达曼光栅结构（坐标已归一化）
-,pw[R "Cn<x\ E b 
$e/[!3CASP （b）达曼光栅衍射效率
b VW2Tjc: 5 K[MKfT 2）矢量衍射理论RCWA算法设计
jrL V \(p 运用matlab编写的多种群遗传算法进行优化，得到衍射效率为78%，非均匀度为0.9%，结构图和衍射图如下所示。
Jknit 'E_~> 
4fgYO] （a）达曼光栅结构（坐标已归一化）
BQF7S<O+ =BVBC h 
>A*BRX"4C （b）达曼光栅衍射效率
"[Hn G(gA $G D@e0 3）rsoft仿真
mb #&yK(h 标量衍射结果与rsoft仿真结果有一定的差异。（分束比越高差异越大）
l<dtc[ %?i~`0-:n% 
]~t4E'y)z （a）标量衍射结果结构图
~F^7L5d}C V 2/?1 
# 8sv *8& （b）衍射效率
bY!1t}ALh s%Ir h;Bs rsoft应用RCWA算法进行
仿真，与matlab编写的RCWA算法仿真结果一致，与virtuallab仿真结果一致。
L/7YI\C2 lm\~_ 4l1 
(\*+HZ`(Uu （a）矢量衍射结果结构图
||o :A u~ \l~v^mj 
3Ued>8Gv （b）衍射效率
`R@b`3*%v 7J [s5'~| 2、偶数型达曼光栅设计
q&d5 V~q 偶数型达曼光栅优化设计和奇数型达曼光栅相同，但结构必须满足相位互补状态。下图为1*6和1*8分束比达曼光栅，用标量衍射设计，结果并不是很完美。
f Ua[3)I 
"c*&~GSE4 （a）结构图
y6`zdB >Q% FW 
=VvQ 2Y0h8 （b）衍射效率
1vUW$)?X m$WN"kV`,9 
fYUbr"Oe （a）结构图
y_}jf,b4 PCZ %<>v 
8}>s{u;W （b）衍射效率
