对设备来讲，我觉得最重要的方面是设备的安全性。在安全性上有缺陷的设备是不能使用的。 3`3my=
镀膜机其实是很危险的设备，有电、高温、真空、机械、辐射、光、噪音、有毒有害物质等方面的危险。 OJydt ; a
下面谈谈这几个方面需要注意的地方。 ulg= ,+%r
1.电： 电子枪离子源都有超过1000V的高压，打扫这些地方记得关闭电源并等待10分钟。 u9q #L.Ij
设备的加热丝接头，设备控制柜接线，扩散泵加热器接线这些地方也是裸露的，容易触电。 9^sz,au B
2.高温：设备刚镀完膜冷却不够时，伞架和离子源电子枪容易烫伤人。离子源冷却不够还会导致电极氧化，陶瓷破裂。 H_8PK$c;
设备开门时，烘烤加热丝（加热腔壁防止水汽吸收）和扩散泵加热丝也容易烫伤。 @QpL*F
3.真空：设备打扫的时候，人员会进入真空腔体内部，此时会非常危险。 |'}r-}
有的设备在控制柜上设置了真空锁，进入腔体前打开真空锁，拔去钥匙，设备就无法抽真空。 ,Cm1~ExJ
4.机械：开关门时夹伤手、伞架掉落、加料时电子枪坩埚盘夹伤等也是常见伤害。 p+nB@fN/
5.辐射：电子枪会发射X射线，金属可以挡去大部分，正规的视窗玻璃也是有屏蔽效果的，副厂多数是石英玻璃，没有屏蔽效果。 Y*jkUQ
离子源会发射微波辐射，所以门缝处和视窗玻璃都有金属网进行屏蔽，发现破损及时更换。 I+ Qt5Ox
6.光，噪音这个不多说了。眼睛别老是去看电子枪光斑，一般都会加黑玻璃保护一下。光控也别多看。 +sZY0(|K8
7.有毒有害：防指纹膜一般都含氟，所以建议镀这个的每三个月换一次真空泵油和机械泵油。其他的自己清楚。
