我这里有一台国投南光的1100型的镀膜机目前高真空实在是抽不动了 ,但找不到原因。前段时间抽真空的时间如下: Y>KRI2](<
低真空时间: 14TA( v]T
0000——3.0 E0 8分钟 8(R%?>8
但此时不能开启高阀 wB6ILTu1
低真空必须到80E-1才可以开高阀,不然会出现反抽 BU[.P]
0000——8.0E-1 65分钟 V[f-Nj Kf
高真空时间: G%
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8.0E-1——4.8E-3 65分钟 *')g}2iB
4.8E-3¬——4.5E-3 20分钟(熔料) )i&z!|/2
4.5E-3——2.5E-3 60分钟 %T]NM3|U
抽真空环境: M_tY: v
温度:26℃-28℃ o]0v#2l'
湿度:45% pkjf5DWp
烘烤温度:280℃(低阀开启时加烘烤) 82%~WQnS
可是现在不知道为什么抽不动了。 FLI\SF<
主要表现在 >
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0000——3.0 E0 8分钟 V[-4cu,Ph^
真空在8.5E-1就抽不动了,开高阀就出现反抽。 JcsJfTI
使用丙酮检漏没有发现漏点。 Qq;` 9-&j
扩散泵油很好,很清亮。
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