我这里有一台国投南光的1100型的镀膜机目前高真空实在是抽不动了 ,但找不到原因。前段时间抽真空的时间如下: d@zxgn7o
低真空时间: 0wAB;|~*62
0000——3.0 E0 8分钟 n#B}p*G
但此时不能开启高阀 *xpPD\{k
低真空必须到80E-1才可以开高阀,不然会出现反抽 7uOtdH+
0000——8.0E-1 65分钟 fJe5
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高真空时间: v?n# C
8.0E-1——4.8E-3 65分钟 _,I~1"
4.8E-3¬——4.5E-3 20分钟(熔料) f 0~Z@\
4.5E-3——2.5E-3 60分钟 zvfdfQ-i
抽真空环境: ch0cFF^]
温度:26℃-28℃ ;";>7k/}
湿度:45% 0T0I<t
烘烤温度:280℃(低阀开启时加烘烤) =\\rk,F
可是现在不知道为什么抽不动了。 k?/! `
主要表现在 "hZ `^"0b
0000——3.0 E0 8分钟 MYR\W*B'b
真空在8.5E-1就抽不动了,开高阀就出现反抽。 Kek%io
使用丙酮检漏没有发现漏点。 kV3LFPf>0
扩散泵油很好,很清亮。 A;f)`i0l,
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