我这里有一台国投南光的1100型的镀膜机目前高真空实在是抽不动了 ,但找不到原因。前段时间抽真空的时间如下: D]tI's1
低真空时间: CZZwBt$P
0000——3.0 E0 8分钟 *'&]DJj
但此时不能开启高阀 R|D%1@i]
低真空必须到80E-1才可以开高阀,不然会出现反抽 Ln+;HorZ]
0000——8.0E-1 65分钟 F-R5Ib-F*A
高真空时间: dbga >j
8.0E-1——4.8E-3 65分钟 !%X~`&9
4.8E-3¬——4.5E-3 20分钟(熔料) c o 8bnH
4.5E-3——2.5E-3 60分钟 V_\9t8
抽真空环境: ICdfak
温度:26℃-28℃ <=nOyT9
湿度:45% s#cb wDT
烘烤温度:280℃(低阀开启时加烘烤) h4ozwVA
可是现在不知道为什么抽不动了。 Ql#y7HW
主要表现在 B<$(Nb5<
0000——3.0 E0 8分钟 iHa:6
真空在8.5E-1就抽不动了,开高阀就出现反抽。 ]C'^&:&<
使用丙酮检漏没有发现漏点。 LO;7NK
扩散泵油很好,很清亮。 DyPHQ}G
N=T 0Td
qt{lZ_$
,tTq25~H\