主要镀膜材料及其性能和用途 vS>'LX
名称 折射率 透光范围 蒸发温度(℃) 蒸发源 应用 7qB4_
三氧化二铝 1.62/550nm 200~5000 2000-2200 电子枪 增透膜、多层膜 |6JKB'
氟化铈 1.63/500nm 300~5000 1429 钼,钽,电子枪 增透膜、多层膜 .cHgYHa
氧化铈 2.35/500nm 400~16000 1950 电子枪 增透膜 eyD V911
冰晶石 1.33/500nm 250~14000 1000 钼,钽,电子枪 增透膜 ["EXSptB
氧化铪 1.95/500nm 230~7000 2500 电子枪 紫外-近红外多层膜 w5HIR/kP
透明导电膜料 2.0/500nm 400~800 1450 电子枪,Al2O3 透明导电膜 $:F+Nf
8
氟化钙 1.23-1.42/550nm 150~12000 1280~1400 钼,钽,钨 增透膜 MF4(
氟化镁 1.38/550nm 130~7000 1300~1600 钼,钽,钨 增透膜、多层膜 LUMbRrD-
氧化镁 1.7/500nm 200~8000 2000 电子枪 多层膜 ?n`m
锆钛混合物 2.1/500nm 400~7000 2300 钨,电子枪 增透膜 5;/n`Bd
氧化钪 1.89/500nm 250~5000 2430 电子枪 紫外多层膜 Xkhd"Axi
二氧化硅 1.45/500nm 200~2000 1600~2200 电子枪 多层膜 4@
一氧化硅 1.55/550nm 600~8000 1200~1600 钼,钽,钨 增透膜、保护膜 c a_mift
五氧化二钽 2.1/500nm 400~7000 1950 电子枪 增透膜 o:AfEoH"~
一氧化钛 2.35/500nm 400~12000 1700~2000 电子枪 多层膜、分光膜 \N*([{X
二氧化钛 2.35/500nm 400~12000 2200 电子枪 增透膜、多层膜 "=Br&FN{|
氧化钇 1.87/550nm 400~8000 2500 电子枪 增透膜、多层膜 qg
oB}n%
氧化锆 2.05/500nm 250~7000 2500 电子枪 增透膜、多层膜 1l$Ei,9
三氧化二钛 2.35/500nm 400~12000 1800~2000 钽,钨电子枪 增透膜、多层膜 ?7aZU
氟化钡 1.4/10600nm 220~11000 1280 钼,钽,铂 紫外-远红外膜、多层膜、增透膜 +)sX8zb*gY
氟化镧 1.58/500nm 220~14000 1450 钼,电子枪 增透膜 8Agg%*Qs}
硅 3.4/3000nm 1000~9000 1500 电子枪 红外膜 H`CID*Ji
锗 4.4/2000nm 1700~23000 1300~1500 电子枪,钨 红外膜 \FVfV`x
硒化锌 2.58/550nm 600~15000 600~900 钼,钽,电子枪 红外膜 aV'bI
硫化锌 2.4/1200nm 400~14000 1100 钼,钽,电子枪 多层膜 u1%URen[x
氟化钇 红外膜(10.61.49/632.8nm 200~15000 1100 钼 m)增透膜 2IJK0w@
氟化镨 1.51/632.8nm 220~15000 红外膜(10.61400~1600 钼,电子枪 m)增透膜 Lb/GL\J)
氟化铝 1.35/500nm 200~8000 800~1000 电子枪,钼,钽 紫外膜 Gaix6@X6'
氟化铅 1.76/470nm 220~9000 700~1000 铂 紫外膜 rL{R=0
氧化钆 1.8/550nm 320~15000 2200 增透膜