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\i;&@Kp.N 内容简介 M:UB>-`bW Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 I<(.i!-x 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 }A)36 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 ^HlLj# OV("mNh 讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 io r [v 目录 #+Yp^6zg Preface 1 .4C[D{4 内容简介 2 :&0yf;>v 目录 i `KJYm|@ i 1 引言 1 -wRyMY_D 2 光学薄膜基础 2 L+~YCat|$U 2.1 一般规则 2 %6IlE.*, 2.2 正交入射规则 3 ,*nZf| 2.3 斜入射规则 6 "^
6lvZP( 2.4 精确计算 7 )y/DGSd
2.5 相干性 8 vMZ7uO 2.6 参考文献 10 O? Gl4_y 3 Essential Macleod的快速预览 10 }L$Xb2^l 4 Essential Macleod的特点 32 !`
M;# 4.1 容量和局限性 33 lO2T/1iMTW 4.2 程序在哪里? 33 kBiBXRt 4.3 数据文件 35 *L;pc g8{ 4.4 设计规则 35 a?,[w'7FU 4.5 材料数据库和资料库 37 $D/bU lFx 4.5.1材料损失 38 MB8SB 4.5.1材料数据库和导入材料 39 .qIy7_^ 4.5.2 材料库 41 N$,/Q9h^ 4.5.3导出材料数据 43 KM6N'x ^z 4.6 常用单位 43 iJZ|[jEDV 4.7 插值和外推法 46 Kl aZZJ 4.8 材料数据的平滑 50 .A*VLF*m 4.9 更多光学常数模型 54 X<Th{kM2 4.10 文档的一般编辑规则 55 ckf<N9 4.11 撤销和重做 56 KZrMf77= 4.12 设计文档 57 $W/+nmb)@K 4.10.1 公式 58 p]h*6nH>~ 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 k'@7ZH 4.10.3 沉积密度 59 0;FqX* 4.10.4 平行和楔形介质 60 pM&]&Nk 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 #
cN_ y 4.10.4 性能 61 5PGlR!^ 4.10.5 保存设计和性能 64 \o:ELa HY 4.10.6 默认设计 64 /UpD$,T|^| 4.11 图表 64 1tc]rC4h 4.11.1 合并曲线图 67 wc7mJxJxA 4.11.2 自适应绘制 68 _(oP{wgB 4.11.3 动态绘图 68 L$29L: 4.11.4 3D绘图 69 >~5lYD 4.12 导入和导出 73 kqKj7L 4.12.1 剪贴板 73 @e!Zc3 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 (# 6<k 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 IpWy)B>Fl3 4.13 背景 77 OU,PO2xX9 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 Pt6hGSo. 4.15 生成Rugate 84 aNE9LAms 4.16 参考文献 91 RgB6:f, 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 x">W u2 5.1 Jobs 92 (C`FicY 5.2 创建一个新Job(工作) 93 pg~zUOY 5.3 输入材料 94 }+91s'/c 5.4 设计数据文件夹 95 AT B\^;n. 5.5 默认设计 95 U1,~bO9 6 细化和合成 97 bQ-Gp;] 6.1 优化介绍 97 CM%|pB/z 6.2 细化 (Refinement) 98 jWH{;V&ZV 6.3 合成 (Synthesis) 100 A 1T< 6.4 目标和评价函数 101 Sl3KpZ 6.4.1 目标输入 102 =\~E n5 6.4.2 目标 103 P%zH>K 6.4.3 特殊的评价函数 104 }P<Qz^sr_ 6.5 层锁定和连接 104 de> ?*%< 6.6 细化技术 104 RAIVdQ}.Z 6.6.1 单纯形 105 L`9TB"0R+ 6.6.1.1 单纯形参数 106 $%7I: 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 dB@Wn!Y 6.6.2.1 Optimac参数 108 Qq#Ff\|4u( 6.6.3 模拟退火算法 109 q} ]'Q
- 6.6.3.1 模拟退火参数 109 EY+/.=$x 6.6.4 共轭梯度 111 3@^MvoC 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 slU 6.6.5 拟牛顿法 112 g%`i=s&N% 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 ecr886 6.6.6 针合成 113 u~s
Sk 6.6.6.1 针合成参数 114 -O'{:s~ 6.6.7 差分进化 114 wgCvD 6.6.8非局部细化 115 e8$l0gzaD 6.6.8.1非局部细化参数 115 ;wJ~ha C 6.7 我应该使用哪种技术? 116 ePf+[pV3 6.7.1 细化 116 &J8Z@^ 6.7.2 合成 117 y
Wpi| 6.8 参考文献 117 41u*w2j 7 导纳图及其他工具 118 l B1# 7.1 简介 118 >;
aCf#q 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 B?+.2 7.2.1 四分之一波长规则 119 JkZ50L 7.2.2 导纳图 120 \[:PykS 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124
s[3e=N 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 led))qd@V- 7.5 斜入射导纳图 141 XC=%H'p 7.6 对称周期 141 )FRM_$t 7.7 参考文献 142 >DHp*$y 8 典型的镀膜实例 143 vu=me?m?( 8.1 单层抗反射薄膜 145 ~A6 "sb= 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 fX_#S|DlSG 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 [`d$X^<y; 8.4 W-膜层 148 WzjL-a( 8.5 V-膜层 149 >*I N 8.6 V-膜层高折射基底 150 ~
|6dH 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 W4(v6>5l 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 >1A*MP4 8.9 四层抗反射薄膜 153 7KU~(?|:h 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 )l_@t(_ 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 O`WIkBV! 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 rz6uDJ" 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 %?bcT[|3 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 wJgX/W 8.15十五层宽带抗反射膜 159 } ^i b 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 ,|+Gls 8.17 1/4波长堆栈 162 =+Im*mgNn 8.18 陷波滤波器 163 3 t)v%S|k 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 2#3^skj 8.20 褶皱 165 2jl)mL 8.21 消偏振分光器1 169 <\" .L 8.22 消偏振分光器2 171 A3HF,EG 8.23 消偏振立体分光器 172 i(*I@ku 8.24 消偏振截止滤光片 173 n 6{2]&sd 8.25 立体偏振分束器1 174 h>alGLN> 8.26 立方偏振分束器2 177 ZQ3_y $ 8.27 相位延迟器 178 6-B 9na 8.28 红外截止器 179 z>;$im 8.29 21层长波带通滤波器 180 m#f{]+6U
8.30 49层长波带通滤波器 181 - hzjV| 8.31 55层短波带通滤波器 182 &-%X:~|:X 8.32 47 红外截止器 183 3NIUW!gr 8.33 宽带通滤波器 184 ;
dd Q/ 8.34 诱导透射滤波器 186 JqCc;Cbd 8.35 诱导透射滤波器2 188 :~zv t 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 _n"Ae?TP 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 Q$ri=uB;+ 8.35 增益平坦滤波器 193 jTb-;4N' 8.38 啁啾反射镜 1 196 {fV}gR2 8.39 啁啾反射镜2 198 O oSb>Y/4 8.40 啁啾反射镜3 199 [BM*oEFPB* 8.41 带保护层的铝膜层 200 k%P;w1 8.42 增加铝反射率膜 201 ar.AL' 8.43 参考文献 202 JN'cXZJPn 9 多层膜 204 GKiukX$' 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 *1{S*`|cJy 9.2 内部透过率 204 "w_N'-}# 9.3 内部透射率数据 205 K-eY|n 9.4 实例 206 J:j<"uPm 9.5 实例2 210 _q?<at}y 9.6 圆锥和带宽计算 212 \}_Yd8 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 :q#K} / 10 光学薄膜的颜色 216 EE=3 10.1 导言 216 8FkFM^\1L 10.2 色彩 216 (k`{*!:1a 10.3 主波长和纯度 220 N]N4^A' 10.4 色相和纯度 221 Z5(enTy- 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 >T jJA# 10.6 色差 226 B[5r|d' 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 ;AJTytE>% 10.8 颜色渲染指数 234 7=XL!:P 10.9 色差计算 235 /mM2M- 10.10 参考文献 236 4~z?" 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 &<pKx! 11.1 短脉冲 238 3WY$WRv 11.2 群速度 239 ^Q+i=y{W 11.3 群速度色散 241 Avlz=k1* 11.4 啁啾(chirped) 245 <spZ! #o 11.5 光学薄膜—相变 245 Yw;D:Y( 11.6 群延迟和延迟色散 246 "xRBE\B 11.7 色度色散 246 F^k.is
11.8 色散补偿 249 sJ
z@7. 11.9 空间光线偏移 256 5S{7En~zUE 11.10 参考文献 258 6\jf|:h 12 公差与误差 260 8>WVodv 12.1 蒙特卡罗模型 260 .lgPFr6X 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 76cG90!Z 12.2.1 误差工具 267 4Kwh?8. 12.2.2 灵敏度工具 271 ^! 8P<y 12.2.2.1 独立灵敏度 271 '1^B+m 12.2.2.2 灵敏度分布 275 LPYbHo3fq 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 )~6zYJ2 12.3 参考文献 276
Ez~'^s@ 13 Runsheet 与Simulator 277 X[gn+6WB% 13.1 原理介绍 277 6x)$Dl 13.2 截止滤光片设计 277 J[~5U~F 14 光学常数提取 289 R9rj/Co 14.1 介绍 289 !QI\Fz? 14.2 电介质薄膜 289 %M|,b!eF 14.3 n 和k 的提取工具 295 E m
6Qe 14.4 基底的参数提取 302 KOz(TZ?u 14.5 金属的参数提取 306 !HeSOzN 14.6 不正确的模型 306 }N0Qm[R 14.7 参考文献 311 1?* 15 反演工程 313 (+<1*5BEkT 15.1 随机性和系统性 313 )Or.; 15.2 常见的系统性问题 314 *'Y@3vKE 15.3 单层膜 314 %ek'~ 15.4 多层膜 314 cRd0S*QN2 15.5 含义 319 [%Bf<
J< 15.6 反演工程实例 319 $;M:TpX 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 h7*W*Bd 15.6.2 反演工程提取折射率 327 @yXfBML?] 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 ]u l$* 16.1 光学性质的热致偏移 329 vx_o(wof 16.2 应力工具 335 )*; zW!H 16.3 均匀性误差 339 '0y9MXRT 16.3.1 圆锥工具 339 VvFC -r,=G 16.3.2 波前问题 341 ~c)~015` 16.4 参考文献 343 7QKr_ 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 :ISMPe3' 17.1 引言 345 P`s 17.2 操作数 345 \<}&&SuH 18 如何在Function中编写脚本 351 x8\A<(G_M= 18.1 简介 351 -C(b,F%% 18.2 什么是脚本? 351 M?b6'd9f 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 Le<wR 18.4 基础 352 6 3`{.yZ*z 18.4.1 Classes(类别) 352 o?1;<gs 18.4.2 对象 352 .s+aZwTMT 18.4.3 信息(Messages) 352 ~%?`P/.o 18.4.4 属性 352 .q&'&~!_ 18.4.5 方法 353 1+-_s 18.4.6 变量声明 353 l]~n3IK" 18.5 创建对象 354 K=!Bh* 18.5.1 创建对象函数 355 ,rJXy_ 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 ;nC.fBu 18.5.3 丢弃对象 356 pV4Whq$ 18.5.4 总结 356 AU-n&uX 18.6 脚本中的表格 357 b'6-dU% 18.6.1 方法1 357 8-y{a.,u. 18.6.2 方法2 357 kJWN. 18.7 2D Plots in Scripts 358 x.8TRMk^ 18.8 3D Plots in Scripts 359 E0`Lg
c 18.9 注释 360 >pU:Gr 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 3~nnCR[R 18.11 一个更高级的脚本 362
/'31w9 18.12 <esc>键 364 6c^e\0q 18.13 包含文件 365
~"UV]Udn 18.14 脚本被优化调用 366 oB74y 18.15 脚本中的对话框 368 CR6R?R3b 18.15.1 介绍 368 b~nAPY6 18.15.2 消息框-MsgBox 368 Us+pc^A 18.15.3 输入框函数 370 M33_ja +L 18.15.4 自定义对话框 371 }$bF
5& 18.15.5 对话框编辑器 371 J|&JD? 18.15.6 控制对话框 377 JK.ZdY% 18.15.7 更高级的对话框 380 Vp>|hj po 18.16 Types语句 384 ,t\* ZTt$ 18.17 打开文件 385 \GHiLs,! 18.18 Bags 387 V+I|1{@i0 18.13 进一步研究 388 `7/Y@}n 19 vStack 389 2h[85\4 19.1 vStack基本原理 389 [HCAmnb 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 keB&Bjd& 19.3 五棱镜 393 {uGP&cS~( 19.4 光束距离 396 P(t[
eXe 19.5 误差 399 < yC 19.6 二向分色棱镜 399 &3yD_P_3 19.7 偏振泄漏 404 hs}8xl 19.8 波前误差—相位 405 n u'M
39{ 19.9 其它计算参数 405 Ug&,Y/tFw2 20 报表生成器 406 q$aaA`E% 20.1 入门 406 R'S0 zp6 20.2 指令(Instructions) 406 271&i 20.3 页面布局指令 406 -!c"k}N= 20.4 常见的参数图和三维图 407 i+gQE! 20.5 表格中的常见参数 408 ~#kT_*sw) 20.6 迭代指令 408 :O(^w}sle 20.7 报表模版 408 xhRngHU\z< 20.8 开始设计一个报表模版 409
<vXGi 21 一个新的project 413 V{<xff 21.1 创建一个新Job 414 ;\p KDPr 21.2 默认设计 415 q7"7U=W0 21.3 薄膜设计 416 _Gu-
uuy 21.4 误差的灵敏度计算 420 {#)0EzV6 21.5 显色指数计算 422 Me=CSQqf< 21.6 电场分布 424 =C~/7N,lW] 后记 426 .|/~op4; 有兴趣加微咨询 D}vmwg@3
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