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TFV薄膜设计软件是用于设计、分析和优化光学薄膜层结构的工具,通常被广泛应用于光学、电子、能源等领域,开发具有特定光学性能的材料和器件,如滤光片、反射镜、透射镜等。 7N "$~UfC }f)$+mi 下面我们将列举出它的特征和几个重点功能。特征: OaU-4
~n; 6k;__@B, 新类型最适化方法 a'w~7y!} Freehand mode! &~U!X~PpB 9Vz1*4Ln `k65&]&d 实时计算 m"\jEfjO 实时运算系统,立即显示运算结果。以鼠标控制滑动尺、上下键,可快速变更膜厚、折射率。膜厚亦可用键盘来做变更(箭头键,PgUp,PgDn键)。 {J q[N} 图纸格式编辑屏幕 trmCIk&Fkj 多张标签工作表,最多可同时设计20个膜数据。每张纸的计算结果迭加在波长图和入射角图上。 Pl<r*d)h 多窗口 }^WQNdws56 可以同时显示图形和数值,例如波长特性,入射角特性,颜色计算和光学沉积监视器。 6V\YYrUz 多语言 />;1 } 您可以在英语,日语和繁体中文之间切换。 tLe!_p) 高分辨率显示兼容 p+U}oC 即使是具有高分辨率显示的字符也不会模糊。根据Windows缩放设置缩放字符。您还可以设置字体和字体大小。功能: X-9>;Mb~y H];|<G 基本操作 !s#25}9zX5 以鼠标控制滑动尺、上下键,可快速变更膜厚、折射率。 AR AC'F0 就能同时显示多种曲线图,从各种视点进行薄膜设计。 LziEF-_ 多张标签工作表,最多可同时设计20个膜资料。 -4`Wkkhu #}L75 ^D\1F$AjC 波长、入射角的3D图表显示 #+HLb 等高线显示。回转、zoom可以。 BL<.u fv_}7t7 M>dP
1 光学式蒸镀监控 r(iT&uz 通常监控的膜厚和制品基板的膜厚会不同,且设计上的折射率(大气中)和成膜中(真空中)的折射率也不一样。而TFV软件则能考虑上述问题进行模拟。 =8$//$ 光学测光方式 B
PTQm4TN C%d\DuJ5'~ qLBXyQ;U 电场强度分布 Htn=h~U`z 可选择欲显示的偏振光种类。 |t*(]U2O0 >k,|N4( 根据选择「反面」,由表面侧的入射光与反面测的入射光电场强度将可同时显示。 GVk&n"9kp 24PEt%2 3^
~M7=k 颜色计算 km2('t7? 显示所有工作表的计算结果,因此能够计算各膜数据之间的色差。 w~a^r]lPW tGnBx)J| $E3-</ f 表色系统 D-e0q)RSU XYZxy, CIE L*a*b*, L*C*h, Hunter Lab, L*u*v*, UCS, Whiteness Index, Yellowness Index, sRGB, CIE2000, Dominant Wavelength。 =LV7K8FSd 对应的光源种类 /^^t>L A, B, C, D50, D55, D65, D75, E, F1, F2, F3, F4, F5, F6, F7, F8, F9, F10, F11, F12, ID50, ID65。 :8aa #bA 您也可以将自己的光源数据注册为csv文件。 #j
-bT4! 制造误差分析 t!RR5! 某层的膜厚、折射率、吸收系数的误差,于调查会对光学特性会造成多少程度影响时及调查设计值与实际成形薄膜的光学特性的乖离发生在哪一层时(Mismatch解析)、及依据Monte Carlo simulation调查制造变异时(制造误差解析)使用。 {'VP_ZS1v bVmHUcR0 波长曲线图Monte Carlo simulation @5N^^B }&D~P>1 颜色计算Monte Carlo simulation C,7d O=UXe]D _@9[c9bO 您可以为每个图层指定每个薄膜厚度,折射率和吸收系数的变化量。 WZO8|hY 变化量可以从绝对值的均匀分布,%的均匀分布和正常(Gaussian)分布(σ)中选择。 L;zwqdI 这个软件是用 Mersenne Twister 随机数发生器。 *,<A[XP 反面测的特性 X.hU23w 可以同时观察有吸收的膜的表面侧、反面侧的特性来做设计。 K}"xZy Tm1 aTS\NpK& DhZuQpH Stack(两面的合计特性) >)*'w! 平行边面基板的两面(又或单面)附着于膜时的合计特性。 k#Qav1_ >QO^h<.> Jb~$Vrdy 不均匀 :8b{|}aYV 不均匀(折射率斜面)设定 T<(1)N1H` 将游标放置在不均质的字段上,将会跳出不均匀数据数据。 D\|$!i} c'cK+32 it]im 周期层 TI4#A E 可设定周期层内的膜厚倍率。 .j?`U[V%a 873$EiyXR O
]o7 设计最适化 `)V1GR2
ES 设计最适化 - 标准MODE - S:)Aj6>6 由Local search、Global search、Needle search三种最适化手法中选取实行最适化。 -!MrG68 Local search HT&CbEa4' 使用Levenberg-Marquardt法,借着边变更膜厚边找寻最适当解析。 ~hK7(K Global search wZ6D\I Simulated Annealing Method法与Levenberg-Marquardt法组合的手法,在local search的途中,将膜厚随意变更、避免陷入非本来解的局部解结果。 Zjqa n Needle search x`T 插入针状的薄层,让多层膜成长,藉此搜寻解。 B1< |