[求助]HFO2材料有谁用过？ [复制链接]

各位大神，请教一下，关于HFO2这个镀紫外的材料，这个材料需要欲融和通氧气吗？怎么融不成液态的呢？ SmRU!C$A  
T$+}Srb  
HFO2和MGF2搭配好，还是和SIO2搭配好呢？哪个更好呢！ BtjsN22  
L-MpdC  

描述:材料欲融状态

图片:微信图片_20180823113440.jpg

融不成液态的显然是电子枪电流密度不够。 }U8H4B~UtY  
加大电流或者减小光斑试试看。

ouyuu:融不成液态的显然是电子枪电流密度不够。 }kGJ)zh  
加大电流或者减小光斑试试看。 (2018-08-24 23:22)  _qM'm^z5  

,.G6c=pZ  
谢谢，大神的指教

需要充氧，40SCCM或更多

yzhuang:需要充氧，40SCCM或更多 (2018-08-27 10:31)  oy;N3  

69`9!heu  
谢谢，大神的指教，与MGF2搭配好，还是SIO2更好了。

能量需要比較高(跟Ti比起來) 7?]gUrE  
鍊藥不用通氧、製程要 I`5F&8J{  
之前做過 溫度要控制 不然會有吸收 t
'Nu^_#  
之前做紫外的AR 搭配是SIO2 Qo0okir  
d_QHm;}Cx  
;KbnaUAS8  
BO#fzq%  

rexchou:能量需要比較高(跟Ti比起來) K{x<zv&
,  
鍊藥不用通氧、製程要 SKD!V6S  
之前做過 溫度要控制 不然會有吸收 3P^eD:) w  
之前做紫外的AR 搭配是SIO2
....... (2018-08-30 11:38)  t=xO12Z  

'=\]4?S  
谢谢，大神指教

之前做過的經驗是 nITr
5$f  
_~HGMC)  
hfo2 與 sio2 做疊層 (折射率差距越大越好) $`{}4,5M  
R?Iv<(I  
要通氣體 + ion beam <2}"Y(zwKl  
qW;nWfkYC
 
不能融溶表示功率不太夠 a9
FlzR  
_L%/NXu,  
加油 &e cf5jFy
 
`S;pn+5  

johnyu:之前做過的經驗是
hfo2 與 sio2 做疊層 (折射率差距越大越好)
要通氣體 + ion beam
]9;WM.  
....... (2018-09-03 16:10)  ZVK;m1?'  

 '=%vf  
谢谢，大神