我这里有一台国投南光的1100型的镀膜机目前高真空实在是抽不动了 ,但找不到原因。前段时间抽真空的时间如下: HtB>#`'
低真空时间: r$}M,! J
0000——3.0 E0 8分钟 )WavG1
但此时不能开启高阀 ;rYL\`6L
低真空必须到80E-1才可以开高阀,不然会出现反抽 `"zXf -qeE
0000——8.0E-1 65分钟 +<7~yZ[Z8
高真空时间: u8L%R[#o
8.0E-1——4.8E-3 65分钟 hdt;_qa
4.8E-3¬——4.5E-3 20分钟(熔料) @ofivCc<%
4.5E-3——2.5E-3 60分钟 J7q^4M+o:
抽真空环境: os0fwv
温度:26℃-28℃ fVx<f.xuW
湿度:45% OjTb2[Q
烘烤温度:280℃(低阀开启时加烘烤) @dei}!e
可是现在不知道为什么抽不动了。 ZN#mu]jC?
主要表现在 T#kPn#|
0000——3.0 E0 8分钟 low
0@+Q
真空在8.5E-1就抽不动了,开高阀就出现反抽。 8&<C.nKP
使用丙酮检漏没有发现漏点。 _Y@vO
扩散泵油很好,很清亮。 NQ~keN
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