2,电子枪的知识(机械)
;I4vPh5Q 电子枪机械部分主要就是指真空室内的电子枪本体及坩埚盘。
1/97_:M0~F O)q4^AE$ 1,冷却
cACIy yQ 电子枪因为功率高,所以一般都是水冷。
[^"*I.Z_ 水一旦在真空室内泄露会造成很严重的故障甚至事故。
A)U"F&tvm 所以一定要防止空打。(会打穿坩埚盘)
n#">k%bD 防止空打的措施有:
YmC}q20; 1,限制镀膜的最高电流
Gn2{C% 2,限制镀膜的最长时间
F'K >@y 3,坩埚放置及确认的制度(提前准备好装药的坩埚,放置在显眼处,关门前后的确认……)
QD@O!};
T jSp&\Wj b 2,枪头
5SY%B#;5G 枪头是指灯丝及周边那部分,因为温度高,离材料近,枪头非常容易沾污,需要及时保养更换。
j-K[]$ 这部分国内国外零部件价格差异极大。所以也是假冒伪劣的重灾区。
:BPgDLL, 如发现外观尺寸不佳,光斑不稳定,电子枪电流不稳甚至打火,枪头及灯丝寿命短等问题,请及时怀疑买到了假货,多安装几次确认一下就可以投诉了。
D>5)',D8xi 比如日本电子的270度枪头,假货成本也就几百元。
Ph=NH8 真货厂家出厂价最低也要7000多。
^{}G4BEY .)tv'V/ 3,坩埚盘
RhowhQ) G 坩埚盘分为点状和环形,环形坩埚比较省药品但不能灵活切换。
:M"+ 坩埚盘常见故障有卡死,偏位,速度不稳定等。
8$}<4 `39 定位方式一般采用码盘定位和电机定位。根据定位方式不同,对坩埚位置要采取不同方式进行调整。
g7zl5^o3j nYx
/q 4,挡板
pbx*Y`v 挡板是非常重要的零部件,挡板设置不好会影响镀膜效果。
+@rFbsyJ. 挡板高度越低越好,以电子枪束流打不打为限,可以用铝膜包覆挡板,然后开电子枪的最低电流做实验。
E*YmHJ:k 铝膜溶破就代表打到了,然后再往上调30mm左右。
,?8a3% 挡板速度越快越好,但以不打到其他部件,不掉药渣为限。
MN<LZC%$ 新柯隆一般为1秒。
D)-LZbPa 挡板的打开及关闭位置的确认:坩埚中心点放一小灯(手机或者小头灯,越低越好)
C'I&< 然后手动打开和关闭挡板,打开时伞架上无阴影,关闭是伞架上无照亮。
:TTq
8!2)=8|f 5,故障
fJ*^4 电子枪原理简单,所以一般故障较少。
":/c|! 多数故障是由于保养不良等原因造成的。
`Q*`\-8J 要注意高压导入的裸铜丝,枪头下面的底座陶瓷也属于耗材,最好每年更换一次。
E>_Rsw * 否则因为铜丝损耗(特别是压接处,会少量蒸发导致铜丝变细,接触不良)
b\"F6TF: 底座陶瓷绝缘变差造成故障。
(u 7Lh>6% 另外电子枪本体内有永磁铁,时间长了磁铁磁性变化也会造成一些变化,
O!"K'Bm 此时可通过调整电子枪电源内的电位器来矫正。
Y~}MfRE3z 还有,电子枪电源通常会放在泵房,所以每年大修的时候,
Ir JSU_ 最好拆开护板用吸尘器打扫一下,毕竟几千伏高压的东西,
toY_1 太脏了会严重影响寿命及稳定性。
[ 此帖被ouyuu在2018-01-23 19:40重新编辑 ]