2,电子枪的知识(机械)
}p9F#gr 电子枪机械部分主要就是指真空室内的电子枪本体及坩埚盘。
ib0g3p-Lc T/P7F\R 1,冷却
Ab1/.~^ 电子枪因为功率高,所以一般都是水冷。
@lUlY2 水一旦在真空室内泄露会造成很严重的故障甚至事故。
Q^Bt1C 所以一定要防止空打。(会打穿坩埚盘)
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NWC6y 防止空打的措施有:
HZ*0QgW\(5 1,限制镀膜的最高电流
)hj|{h7 2,限制镀膜的最长时间
bxXiQa 3,坩埚放置及确认的制度(提前准备好装药的坩埚,放置在显眼处,关门前后的确认……)
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F1c3'H kDz>r#% 2,枪头
]^\8U2q} 枪头是指灯丝及周边那部分,因为温度高,离材料近,枪头非常容易沾污,需要及时保养更换。
Kt.~aaG_ 这部分国内国外零部件价格差异极大。所以也是假冒伪劣的重灾区。
r++i=SQax 如发现外观尺寸不佳,光斑不稳定,电子枪电流不稳甚至打火,枪头及灯丝寿命短等问题,请及时怀疑买到了假货,多安装几次确认一下就可以投诉了。
/LQ:Sv7 比如日本电子的270度枪头,假货成本也就几百元。
i$-#dc2qY 真货厂家出厂价最低也要7000多。
[[)_BmS5r 6bZ[Kt 3,坩埚盘
^Dx#7bsDZR 坩埚盘分为点状和环形,环形坩埚比较省药品但不能灵活切换。
H%z@h~s> 坩埚盘常见故障有卡死,偏位,速度不稳定等。
4o9$bv 定位方式一般采用码盘定位和电机定位。根据定位方式不同,对坩埚位置要采取不同方式进行调整。
&4$oudn K.SeK3( 4,挡板
! ]Mc4!E 挡板是非常重要的零部件,挡板设置不好会影响镀膜效果。
emA!Ew(g 挡板高度越低越好,以电子枪束流打不打为限,可以用铝膜包覆挡板,然后开电子枪的最低电流做实验。
B">yKB:D}t 铝膜溶破就代表打到了,然后再往上调30mm左右。
[]&(D_e" 挡板速度越快越好,但以不打到其他部件,不掉药渣为限。
=<<3Pkv7@ 新柯隆一般为1秒。
`HX3|w6W; 挡板的打开及关闭位置的确认:坩埚中心点放一小灯(手机或者小头灯,越低越好)
Vul+]h[!h 然后手动打开和关闭挡板,打开时伞架上无阴影,关闭是伞架上无照亮。
C/v}^#cLD [B?z1z8l 5,故障
i!MwBYk 电子枪原理简单,所以一般故障较少。
hWcTI{v 多数故障是由于保养不良等原因造成的。
LN!W(n( 要注意高压导入的裸铜丝,枪头下面的底座陶瓷也属于耗材,最好每年更换一次。
V_L[P9 否则因为铜丝损耗(特别是压接处,会少量蒸发导致铜丝变细,接触不良)
%TK&)Q% h5 底座陶瓷绝缘变差造成故障。
LI:Tc7t 另外电子枪本体内有永磁铁,时间长了磁铁磁性变化也会造成一些变化,
&(& 此时可通过调整电子枪电源内的电位器来矫正。
;>2#@QP 还有,电子枪电源通常会放在泵房,所以每年大修的时候,
]X" / yAn 最好拆开护板用吸尘器打扫一下,毕竟几千伏高压的东西,
iY.eJlfH 太脏了会严重影响寿命及稳定性。
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