我这里有一台国投南光的1100型的镀膜机目前高真空实在是抽不动了 ,但找不到原因。前段时间抽真空的时间如下: l@+7:n4K0
低真空时间: 4UvZ)^r
0000——3.0 E0 8分钟 _Wq
但此时不能开启高阀 fc-iAj
低真空必须到80E-1才可以开高阀,不然会出现反抽 *><F'
0000——8.0E-1 65分钟 +&( Mgbna
高真空时间: yt=3sq
8.0E-1——4.8E-3 65分钟 r6}
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4.8E-3¬——4.5E-3 20分钟(熔料) D rHVG
4.5E-3——2.5E-3 60分钟 ^N;.cY
抽真空环境: v}O30wE
温度:26℃-28℃ v|%Z+w
湿度:45% xLWwYK
烘烤温度:280℃(低阀开启时加烘烤) _Wp{[TH
可是现在不知道为什么抽不动了。 dDGgvi|[Mz
主要表现在 vAh6+K.e
0000——3.0 E0 8分钟 p&bROuw<T
真空在8.5E-1就抽不动了,开高阀就出现反抽。 -vR5BMy=
使用丙酮检漏没有发现漏点。 >
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扩散泵油很好,很清亮。 b8"?VS5-"
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