[求助]HFO2材料有谁用过？ [复制链接]

各位大神，请教一下，关于HFO2这个镀紫外的材料，这个材料需要欲融和通氧气吗？怎么融不成液态的呢？ gh|TlvnA  
{A2(a7vV  
HFO2和MGF2搭配好，还是和SIO2搭配好呢？哪个更好呢！ R~iJ5@[  
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描述:材料欲融状态

图片:微信图片_20180823113440.jpg

融不成液态的显然是电子枪电流密度不够。 +] >o@  
加大电流或者减小光斑试试看。

ouyuu:融不成液态的显然是电子枪电流密度不够。 Ei>.e
XUD5  
加大电流或者减小光斑试试看。 (2018-08-24 23:22)  d1
jg3{pwA  

K;8{qQ*  
谢谢，大神的指教

需要充氧，40SCCM或更多

yzhuang:需要充氧，40SCCM或更多 (2018-08-27 10:31)  fh*7VuAc  

"#:h#uRUb  
谢谢，大神的指教，与MGF2搭配好，还是SIO2更好了。

能量需要比較高(跟Ti比起來) wHZ(=z/q  
鍊藥不用通氧、製程要 [s+FX5'K  
之前做過 溫度要控制 不然會有吸收 z%]3`_I  
之前做紫外的AR 搭配是SIO2 4}Y? :R  
RWB
]uHzE  
j*FpQiBoT  
/g1;`F(MS/  

rexchou:能量需要比較高(跟Ti比起來) AH ]L C6-  
鍊藥不用通氧、製程要 l 4cTN @E  
之前做過 溫度要控制 不然會有吸收 Byns6k  
之前做紫外的AR 搭配是SIO2
....... (2018-08-30 11:38)  Z15b'^)?9  

~ [=2d a  
谢谢，大神指教

之前做過的經驗是 qo0]7m7|  
PciiDh~/  
hfo2 與 sio2 做疊層 (折射率差距越大越好) +tFl  
qgsKbsl  
要通氣體 + ion beam
2<+9lk  
2d-C}&}L\  
不能融溶表示功率不太夠 AY%Y,<a  
w24@KaKFo  
加油 (~n0,$  
)V*V

  

johnyu:之前做過的經驗是
hfo2 與 sio2 做疊層 (折射率差距越大越好)
要通氣體 + ion beam rVE!mi]%  
....... (2018-09-03 16:10)  eiV[y^?  

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M
1F4G  
谢谢，大神